[实用新型]一种基板支撑装置及系统

说明书

本申请公开了一种基板支撑装置及系统，该结构包括：可伸缩支撑结构和可拆卸连接结构。所述可伸缩支撑结构在外力作用下处于收缩状态或展开状态，所述可伸缩支撑结构的与所述基板接触的接触面上设有支撑件；所述可拆卸连接结构设置在所述可伸缩支撑结构的至少一端部上，构造成连接所述可伸缩支撑结构和所述基板的烘烤腔体，实现了将可伸缩支撑结构从基板的烘烤腔体上拆卸下来，为基板的烘烤腔体的清扫提供了便利。

技术领域

本申请涉及面板制作领域，尤其涉及一种基板支撑装置及系统。

背景技术

在有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体面板(Active-matrixorganic light emitting diode，AMOLED)低温多晶硅技术(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)生产过程中，存在多道工艺需要对基板进行烘烤。在基板的烘烤工艺中，通常将基板放置在与基板的烘烤腔体固定连接的基板支撑装置上进行烘烤。但是，当需要对基板的烘烤腔体进行清扫时，基板支撑装置的存在为基板的烘烤腔体的清扫带来不便。

实用新型内容

本申请实施例提供一种基板支撑装置，用于解决现有技术中基板支撑装置为基板的烘烤腔体的清扫带来不便的问题。

本申请实施例还提供一种基板支撑系统，用于解决现有技术中基板支撑装置为基板的烘烤腔体的清扫带来不便的问题。

本申请实施例采用下述技术方案：

第一方面，本申请提供了一种基板支撑装置，所述装置包括：

可伸缩支撑结构，所述可伸缩支撑结构在外力作用下处于收缩状态或展开状态，所述可伸缩支撑结构的与所述基板接触的接触面上设有用于支撑基板的支撑件；

可拆卸连接结构，所述可拆卸连接结构设置在所述可伸缩支撑结构的至少一端部上，构造成拆卸或连接所述可伸缩支撑结构和所述基板的烘烤腔体。

进一步的，所述可伸缩支撑结构包括空心囊体，所述空心囊体在气压的作用下处于收缩状态或展开状态。

进一步的，所述可伸缩支撑结构还包括：可伸缩杆；

所述可伸缩杆沿着所述空心囊体的伸缩方向设置在所述空心囊体内，且所述可伸缩杆的两端分别于所述空心囊体连接。

进一步的，所述可伸缩杆由弹性材质制成。

进一步的，所述可伸缩杆包括：第一子杆和第二子杆；

所述第一子杆为空心杆，所述第一子杆套在所述第二子杆上，且与所述第二子杆滑动连接；

所述第一子杆的第一端和所述第二子杆的第二端分别与所述空心囊体连接，所述第一端与所述第二端相对。

进一步的，所述可伸缩支撑结构包括：

N个弹性连接件，N为大于等于1的正整数；

N+1个空心支撑杆，N+1个所述空心支撑杆首尾相接，每相邻两个所述空心支撑杆之间通过所述弹性连接件连接。

进一步的，每相邻两个所述空心支撑杆之间通过所述弹性连接件密封连接，形成柱状空腔结构，所述柱状空腔结构在气压作用下处于收缩状态或展开状态。

进一步的，所述可拆卸连接结构包括：

第一磁性件，所述第一磁性件设置在所述可伸缩支撑结构的端部；

第二磁性件，所述第二磁性件与所述第一磁性件相吸，所述第二磁性件用于设置在所述基板的烘烤腔体上。

进一步的，所述可拆卸连接结构包括：

吸附件，所述吸附件设置在所述可伸缩支撑结构的端部；