[实用新型]刻蚀清洗机水洗槽

权利要求书

1.一种刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述刻蚀清洗机水洗槽包括槽体(100)、硅片传送装置(102)和多个高压喷雾水刀(101)，其中：

所述槽体(100)设置有贯穿侧壁的硅片入口和硅片出口；

所述硅片传送装置(102)设置于所述槽体(100)内部，两端与硅片入口和硅片出口连接；

所述多个高压喷雾水刀(101)设置于所述槽体(100)内部的硅片入口处，面向所述硅片传送装置(102)；所述高压喷雾水刀(101)的连接管(202)与供水管道连通。

2.如权利要求1所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述水洗槽包括2个高压喷雾水刀(101)，所述2个高压喷雾水刀(101)在竖直方向上对置于所述硅片传送装置(102)两侧。

3.如权利要求1所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述刻蚀清洗机水洗槽还包括接液盒(103)和溢流口(104)，所述接液盒(103)设置于所述多个高压喷雾水刀(101)的正下方，与所述溢流口(104)连通。

4.如权利要求3所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述接液盒(103)倾斜设置于所述多个高压喷雾水刀(101)的正下方，底部的最低点与溢流口(104)高度持平。

5.如权利要求1所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述高压喷雾水刀(101)设置有16个沿刀体横向排布的高压喷头(201)。

6.如权利要求1所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述刻蚀清洗机水洗槽还包括阀门(203)，所述阀门(203)设置于连接管(202)与供水管道的连通处。

7.如权利要求6所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述阀门(203)为聚丙烯材质阀门。

8.如权利要求1至7任一项所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述刻蚀清洗机水洗槽还包括多个孔状喷头水刀(105)，所述多个孔状喷头水刀(105)设置于所述槽体(100)内部，面向于所述硅片传送装置(102)。

9.如权利要求1至7任一项所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述刻蚀清洗机水洗槽还包括风刀(106)，所述风刀(106)设置于所述槽体(100)内部的硅片出口处，面向于所述硅片传送装置(102)。

10.如权利要求1至7任一项所述的刻蚀清洗机水洗槽，其特征在于，所述连接管(202)为直径3.5毫米的PVDF材质水管。