[实用新型]连续拉晶单晶炉

权利要求书

1.一种连续拉晶单晶炉，它包括括底座(1)、主炉室(2)、副炉室(3)、下驱动装置(4)和上驱动装置(5)，所述主炉室(2)和下驱动装置(4)均安装在底座(1)上，所述主炉室(2)内设置有主炉室坩埚(21)，所述下驱动装置(4)和主炉室坩埚(21)相连，以便通过下驱动装置(4)驱动主炉室坩埚(21)升降，所述副炉室(3)和主炉室(2)相连通，所述上驱动装置(5)安装在副炉室(3)的上端，以便通过上驱动装置(5)驱动拉晶，其特征在于，它还包括：

外部加料器(6)，所述外部加料器(6)内设置有加料腔(61)，所述加料腔(61)内设置有加料坩埚(62)，所述外部加料器(6)的顶端盖装有上盖(63)；

用于熔化硅料的外部化料器(7)，所述外部化料器(7)的顶端和加料坩埚(62)相连通，所述外部化料器(7)的底端和主炉室坩埚(21)相连通，以便将硅料加至加料坩埚(62)后，硅料漏至外部化料器(7)后被外部化料器(7)熔化，被熔化后的硅料流至主炉室坩埚(21)内。

2.根据权利要求1所述的连续拉晶单晶炉，其特征在于：所述外部化料器包括装料器(71)、化料器坩埚(72)和用于给化料器坩埚(72)加热以便硅料熔化的热场(73)，所述装料器(71)和加料坩埚(62)相连通，所述化料器坩埚(72)和装料器(71)相连通，所述热场(73)套装在化料器坩埚(72)的外侧，便硅料依次进入加料坩埚(62)、装料器(71)和化料器坩埚(72)，并在化料器坩埚(72)内经热场(73)熔化后又进入主炉室坩埚(21)。

3.根据权利要求1所述的连续拉晶单晶炉，其特征在于：还包括用于驱动外部加料器(6)升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器(6)旋转的加料器旋转驱动装置，所述外部加料器(6)通过加料器旋臂(8)连接在加料器升降驱动装置上，以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂(8)升降，并通过加料器旋臂(8)带动外部加料器(6)升降，所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂(8)之间，以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂(8)一起升降，并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂(8)旋转，加料器旋臂(8)又带动外部加料器(6)旋转。

4.根据权利要求3所述的连续拉晶单晶炉，其特征在于：所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆(91)、拖板(92)和丝杆旋转驱动装置，底座(1)上设置有立柱(10)，所述升降丝杆(91)可旋转地支承在立柱(10)上，所述拖板(92)通过螺纹连接在升降丝杆(91)上，所述加料器旋臂(8)连接在拖板(92)上，所述升降丝杆(91)连接在丝杆旋转驱动装置上，以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆(91)旋转，进而将升降丝杆(91)的旋转运动转换为加料器旋臂(8)的升降运动。

5.根据权利要求3所述的连续拉晶单晶炉，其特征在于：所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机(111)、旋转丝杆(112)、旋转套(113)和固定座(114)，所述旋转套(113)铰接在拖板(92)上，所述旋转丝杆(112)可旋转地支承在固定座(114)上，所述旋转电机(111)安装在固定座(114)上，所述旋转丝杆(112)的一端部和旋转电机(111)的输出轴相连接，所述旋转丝杆(112)的另一端部和旋转套(113)通过螺纹连接，所述加料器旋臂(8)铰接在拖板(92)上，以便通过旋转电机(111)驱动旋转丝杆(112)在旋转套(113)内旋进旋出，使得固定座(114)产生位移，并使固定座(114)带动加料器旋臂(8)旋转。

6.根据权利要求1所述的连续拉晶单晶炉，其特征在于：还包括副炉室升降驱动装置(12)和副炉室旋转驱动装置(13)，所述副炉室(3)通过副炉室旋臂(14)连接在副炉室升降驱动装置(12)上，以便通过副炉室升降驱动装置(12)驱动副炉室旋臂(14)升降，并通过副炉室旋臂(14)带动副炉室(3)升降，所述副炉室旋转驱动装置(13)连接在副炉室升降驱动装置(12)和副炉室旋臂(14)之间，以便使得副炉室旋转驱动装置(13)随副炉室旋臂(14)一起升降，并通过副炉室旋转驱动装置(13)驱动副炉室旋臂(14)旋转，副炉室旋臂(14)又带动副炉室(3)旋转。