[实用新型]连续拉晶单晶炉

说明书

本实用新型公开了一种连续拉晶单晶炉，它包括括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置，它还包括外部加料器和用于熔化硅料的外部化料器，所述外部加料器内设置有加料腔，所述加料腔内设置有加料坩埚，所述外部加料器的顶端盖装有上盖；所述外部化料器的顶端和加料坩埚相连通，所述外部化料器的底端和主炉室坩埚相连通，以便将硅料加至加料坩埚后，硅料漏至外部化料器后被外部化料器熔化，被熔化后的硅料流至主炉室坩埚内。本实用新型可以连续加料、连续化料，从而实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五至六根晶棒，减少了冷却、拆炉、装炉的时间，提高了生产效率，也减少了热量的流失。

技术领域

本实用新型涉及一种连续拉晶单晶炉。

背景技术

目前，大多数单晶炉都是采用一次性向主炉室坩埚投料的方法，通常是生产完一炉后，等单晶炉冷却后，再往主炉室坩埚内装料，进行下一次生产，这样既浪费了时间，又造成了热量的流失，且在拉晶棒的过程中，不能进行补料操作，在拉晶棒的后期阶段，会因为硅料中某些元素的挥发而影响晶棒后半部分的质量。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种连续拉晶单晶炉，它可以连续加料、连续化料，从而实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五至六根晶棒，减少了冷却、拆炉、装炉的时间，提高了生产效率，也减少了热量的流失。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种连续拉晶单晶炉，它包括括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置，所述主炉室和下驱动装置均安装在底座上，所述主炉室内设置有主炉室坩埚，所述下驱动装置和主炉室坩埚相连，以便通过下驱动装置驱动主炉室坩埚升降，所述副炉室和主炉室相连通，所述上驱动装置安装在副炉室的上端，以便通过上驱动装置驱动拉晶，它还包括：

外部加料器，所述外部加料器内设置有加料腔，所述加料腔内设置有加料坩埚，所述外部加料器的顶端盖装有上盖；

用于熔化硅料的外部化料器，所述外部化料器的顶端和加料坩埚相连通，所述外部化料器的底端和主炉室坩埚相连通，以便将硅料加至加料坩埚后，硅料漏至外部化料器后被外部化料器熔化，被熔化后的硅料流至主炉室坩埚内。

进一步提供了外部化料器的具体结构，所述外部化料器包括装料器、化料器坩埚和用于给化料器坩埚加热以便硅料熔化的热场，所述装料器和加料坩埚相连通，所述化料器坩埚和装料器相连通，所述热场套装在化料器坩埚的外侧，便硅料依次进入加料坩埚、装料器和化料器坩埚，并在化料器坩埚内经热场熔化后又进入主炉室坩埚。

进一步为了方便外部加料器的移动、拆卸和清理，连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器旋转的加料器旋转驱动装置，所述外部加料器通过加料器旋臂连接在加料器升降驱动装置上，以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂升降，并通过加料器旋臂带动外部加料器升降，所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂之间，以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂一起升降，并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂旋转，加料器旋臂又带动外部加料器旋转。

进一步提供了一种加料器升降驱动装置的具体结构，所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆、拖板和丝杆旋转驱动装置，底座上设置有立柱，所述升降丝杆可旋转地支承在立柱上，所述拖板通过螺纹连接在升降丝杆上，所述加料器旋臂连接在拖板上，所述升降丝杆连接在丝杆旋转驱动装置上，以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆旋转，进而将升降丝杆的旋转运动转换为加料器旋臂的升降运动。