[实用新型]硅片亲水性测试仪有效

专利信息
申请号: 201820670019.0 申请日: 2018-05-07
公开(公告)号: CN208420616U 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 王振交;艾凡凡;韩培育 申请(专利权)人: 苏州中世太新能源科技有限公司
主分类号: G01N13/00 分类号: G01N13/00
代理公司: 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 代理人: 梁珺
地址: 215121 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 连接导轨 载片 滴水控制 亲水性 硅片 移载 本实用新型 从动导轨 模块设置 主动导轨 测试仪 承接板 连接架 移动块 上下平行设置 图像采集模块 自动控制模块 测试标准 间隔设置 水平连接 侧连接 水滴 水泵 平行 滴水 规范化 统一
【权利要求书】:

1.一种硅片亲水性测试仪,其包括机架,其特征在于:所述机架内设置有载片移载模块、滴水控制模块及图像采集模块,所述载片移载模块设置于所述机架的底部且其包括有相互平行的主动导轨和从动导轨,所述主动导轨和所述从动导轨上均对应设置有一移动块,两移动块上共同水平连接有一承接板,所述承接板上设置有载片平台;所述滴水控制模块设置于所述机架内的中部且位于所述载片移载模块的上方,所述滴水控制模块包括有上下平行设置的上连接导轨和下连接导轨,所述上连接导轨的后侧设置有连接架,所述连接架上连接有水滴自动控制模块,所述上连接导轨和所述下连接导轨的前侧连接有滴水模块,所述上连接导轨上间隔设置有多个滴水泵。

2.根据权利要求1所述的硅片亲水性测试仪,其特征在于:所述图像采集模块设置于所述机架内的上部,所述图像采集模块包括有水平设置的滑道,所述滑道上设置有能够随所述滑道左右往复移动的滑动块,所述滑动块为垂直设置,所述滑动块的前侧垂直设置有滑轨,所述滑轨上设置有能够随所述滑轨上下移动的连接块,所述连接块上连接有一CCD相机。

3.根据权利要求1所述的硅片亲水性测试仪,其特征在于:所述主动导轨的一端设置有驱动所述移动块往复移动的驱动电机。

4.根据权利要求1所述的硅片亲水性测试仪,其特征在于:所述滴水模块包括有移动板,所述移动板连接于所述上连接导轨和所述下连接导轨上,所述移动板的前侧面垂直连接一移动滑块,所述移动滑块上设置有连接板,所述连接板能够随所述移动滑块上下往复移动,所述连接板上设置有多个滴水嘴。

5.根据权利要求1所述的硅片亲水性测试仪,其特征在于:所述上连接导轨的一端设置有驱动马达。

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