[实用新型]喷嘴有效
| 申请号： | 201820673596.5 | 申请日： | 2018-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN208298783U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 侯文潭;郭士选 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进气孔 喷嘴 等离子体形成 本实用新型 衬底 刻蚀 刻蚀区域 使用寿命 环绕 污染 | ||
1.一种喷嘴，其特征在于，包括：
本体；
中心进气孔，设于所述本体中，且所述中心进气孔的直径满足：能够破坏所述中心进气孔中的等离子体形成条件；
边缘进气孔，设于所述本体中，且环绕在所述中心进气孔四周，并且所述边缘进气孔的直径满足：能够破坏所述边缘进气孔中的等离子体形成条件。
2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述中心进气孔的直径小于等于3mm。
3.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述边缘进气孔的直径小于等于3mm。
4.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，在所述本体中设置有辅助进气孔和进气通道，其中，
所述辅助进气孔设于所述中心进气孔与所述边缘进气孔之间，且环绕在所述中心进气孔四周；所述辅助进气孔的直径满足：能够破坏所述辅助进气孔中的等离子体形成条件；
所述进气通道的出气端与所述辅助进气孔连通，并且在所述进气通道的内壁，且位于所述进气通道的出气端处设置有环形凸台。
5.根据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，所述辅助进气孔的直径小于等于3mm。
6.根据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，在所述本体中设置有汇流腔和多个分流孔，其中，
所述汇流腔设于所述中心进气孔的出气端一侧，且与所述中心进气孔和所述辅助进气孔连通，所述汇流腔在所述中心进气孔的轴向上的直径满足：能够破坏所述汇流腔中的等离子体形成条件；
每个所述分流孔设于所述汇流腔远离所述中心进气孔一侧，且与所述汇流腔连通，所述分流孔的直径满足：能够破坏所述分流孔中的等离子体形成条件。
7.根据权利要求6所述的喷嘴，其特征在于，所述汇流腔在所述中心进气孔的轴向上的直径的取值范围在1-2mm。
8.根据权利要求6所述的喷嘴，其特征在于，在多个所述分流孔中，其中一个所述分流孔与所述中心进气孔同轴，且该分流孔的直径大于所述中心进气孔的直径；其余所述分流孔围绕所述中心进气孔的轴线设置。
9.根据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，在所述本体中设置有安装孔，且在所述安装孔中设置有筛管，所述筛管包括筛管本体和设置在所述筛管本体中的所述中心进气孔；并且，在所述筛管本体的外周壁与所述安装孔的孔壁之间具有环形间隙，用作所述辅助进气孔。
10.根据权利要求9所述的喷嘴，其特征在于，所述筛管为多个，且沿所述安装孔的轴向依次设置在所述安装孔中。
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