[实用新型]一种克尔灵敏度测量装置

权利要求书

1.一种克尔灵敏度测量装置，主要包括激光器、非球面镜I、孔径光阑、偏振器、非球面镜II、分束器、1/2波片、1/4波片、沃拉斯顿棱镜、光电探测器I、光电探测器II、物镜台、物镜、非球面镜III、样品、样品台、磁铁、电流表、电源、示波器、计算机、检偏器、目镜，所述激光器的波长在400纳米到800纳米范围可调，xyz为空间直角坐标系，zx为水平面，xy平面与水平面垂直，所述激光器、非球面镜I、孔径光阑、偏振器、非球面镜II、分束器、物镜及非球面镜III组成入射光路，所述样品、非球面镜III、物镜、分束器、1/2波片、1/4波片、沃拉斯顿棱镜、光电探测器I及光电探测器II组成反射光路，所述物镜、分束器、检偏器及目镜位于同一直线上且组成检验光路，激光器发出的光依次经过非球面镜I、孔径光阑、偏振器、非球面镜II后被分束器偏向，并依次经过物镜、非球面镜III后射到样品表面，被样品反射的反射光依次经过非球面镜III、物镜后被分束器偏向，并依次经过1/2波片、1/4波片后在沃拉斯顿棱镜中分成两束分别为S偏振和P偏振的正交光，S偏振光进入光电探测器I，P偏振光进入光电探测器II，光电探测器I中探测到的光强为I_S，光电探测器II中探测到的光强为I_P，磁铁、电流表、电源、示波器、计算机之间电缆连接，光电探测器I与计算机之间电缆连接，光电探测器II与计算机之间电缆连接，磁铁产生的磁场沿x轴方向，所述克尔灵敏度包括纯极向克尔灵敏度、竖直方向的纵向克尔灵敏度和横向克尔灵敏度，其特征是：所述孔径光阑为四种孔径模式的组合，包括孔径模式I、孔径模式II、孔径模式III、孔径模式IV，所述四种孔径模式中的透光区域的大小及位置能够进行微调，通过快门控制来达到不同的孔径模式，以能够控制入射到样品表面的光束的入射角，通过调整偏振器、非球面镜II、分束器II，能够使得孔径光阑所处的平面与物镜的背聚焦平面共轭，孔径光阑的半径为20mm，其中心在xy平面内的坐标为(0，0)，孔径模式I的开孔为正方形，所述正方形的中心位置在(0mm，0mm)，边长在1mm至10mm可调；孔径模式II的开孔为长方形，所述长方形的中心位置在(0mm，-14mm)，x方向边长在1mm至3mm范围可调，y方向边长在2mm至5mm可调；孔径模式III的开孔为长方形，所述长方形的中心位置在(14mm，0mm)，y方向边长在1mm至3mm范围可调，x方向边长在2mm至5mm可调；孔径模式IV的开孔为长方形，所述长方形的中心位置在(0mm，10mm)，y方向边长在1mm至3mm范围可调，x方向边长在2mm至5mm可调，通过调整检偏器方向及位置，能够在目镜中观测到物镜的背聚焦平面上出现的锥光干涉图。