[实用新型]一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置有效
| 申请号： | 201820688992.5 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN208189540U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 陈滢如;陈琮岳 | 申请（专利权）人： | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体交换 喷淋管 风机 滑辊 进气口 循环使用装置 设备气体 湿式制程 箱体内腔 滚动 抽气口 排气口 回抽 联通 垂直 进气口管路 排气口联通 风机安装 矩形腔体 水平安装 水平固定 箱体两侧 箱体外部 出风口 进风口 上表面 基板 盛放 | ||
1.一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置，其特征是，包括箱体(10)和风机(20)，所述箱体(10)为矩形腔体，箱体(10)一侧上表面设有排气口(11)，箱体(10)两侧分别设有抽气口(12)和进气口(13)，进气口(13)位于排气口(11)一侧，箱体(10)内腔上部设有气体交换管(14)，气体交换管(14)弧形固定安装在箱体内，且与排气口(11)联通，气体交换管(14)下方设有水平固定的喷淋管(15)，喷淋管(15)与气体交换管(14)在空间上垂直，箱体(10)内腔底部设有水平安装的多组滚动滑辊(16)，滚动滑辊(16)分别与喷淋管(15)在空间上垂直，滚动滑辊(16)上水平放置有盛放产品的基板(17)，所述风机(20)安装在箱体(10)外部，风机(20)的进风口与箱体(10)的抽气口(12)管路联通，风机(20)的出风口与箱体(10)的进气口(13)管路联通。
2.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置，其特征是，所述基板(17)在滚动滑辊(16)上定向定位移动，且喷淋管(15)位于基板(17)的正上方。
3.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置，其特征是，所述抽气口(12)与风机(20)之间设有过滤装置(18)。
4.根据权利要求1所述的一种湿式制程设备气体回抽循环使用装置，其特征是，所述进气口(13)设有回转的缓冲管(19)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
