[实用新型]石英晶体籽晶片腐蚀控制装置有效
申请号: | 201820690805.7 | 申请日: | 2018-05-10 |
公开(公告)号: | CN208293120U | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 刘盛浦;王晓刚;易际让 | 申请(专利权)人: | 山东博达光电有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 271500 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 籽晶片 石英晶体 腐蚀箱 转轴 腐蚀控制装置 本实用新型 表面腐蚀 牵引杆 牵引线 腐蚀 通孔 箱盖 传统操作 电机连接 腐蚀溶液 可伸缩的 生产效率 对流 穿过 | ||
1.石英晶体籽晶片腐蚀控制装置,其特征在于:包括腐蚀箱(2)和与电机连接的转轴(3);
所述腐蚀箱(2)位于转轴(3)正下方;所述腐蚀箱(2)包括箱体(21)和与箱体(21)配合使用的箱盖(22),箱盖(22)上设置有通孔(221),箱体(21)中放置有腐蚀筐(8);
所述转轴(3)上设置有可伸缩的牵引杆(4),牵引杆(4)上设置有牵引线(6);
所述牵引线(6)穿过通孔(221)与腐蚀筐(8)固定连接。
2.根据权利要求1所述的石英晶体籽晶片腐蚀控制装置,其特征在于:所述腐蚀箱(2)与转轴(3)之间设置有固定杆(7),固定杆(7)上设置有限位孔(71);所述牵引线(6)依次穿过限位孔(71)和通孔(221)后与腐蚀筐(8)固定连接。
3.根据权利要求2所述的石英晶体籽晶片腐蚀控制装置,其特征在于:
所述腐蚀筐(8)内平行设置有两个固定架(9),固定架(9)包括垫高架(91)和至少三个等距固定设置在垫高架(91)顶部的分离架(92)。
4.根据权利要求3所述的石英晶体籽晶片腐蚀控制装置,其特征在于:
所述腐蚀筐(8)顶部设置有提绳(81),牵引线(6)依次穿过限位孔(71)和通孔(221)后与提绳(81)固定连接。
5.根据权利要求4所述的石英晶体籽晶片腐蚀控制装置,其特征在于:所述牵引杆(4)上设置有可转动的转轮(5),转轮(5)上固定设置有牵引线(6)。
6.根据权利要求5所述的石英晶体籽晶片腐蚀控制装置,其特征在于:所述转轴(3)水平设置,牵引杆(4)与转轴(3)垂直设置。
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