[实用新型]基板处理装置有效
申请号: | 201820719482.X | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN208729488U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 金庚模 | 申请(专利权)人: | 凯斯科技股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/30;B24B27/00;B24B53/017 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 姜虎;陈英俊 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨垫 研磨基板 基板处理装置 本实用新型 基板 基板研磨工序 基板放置部 处理效率 | ||
本实用新型涉及基板处理装置,用于进行基板研磨工序,其包括:基板放置部,其用于放置基板;第一研磨垫,其研磨基板;第二研磨垫,其与第一研磨垫独立地研磨基板;调节单元,其在第一研磨垫与第二研磨垫中的某一个研磨基板期间,调节第一研磨垫与第二研磨垫中的另一个。本实用新型可以提高基板的处理效率并缩短处理时间。
技术领域
本实用新型涉及基板处理装置,更具体而言,涉及一种能够简化基板的处理工序并缩短处理时间的基板处理装置。
背景技术
最近,随着对信息显示装置关心的高涨,对要利用能携带的信息介质的要求正在提高,同时正在重点进行对替代原有显示装置的阴极射线管(Cathode Ray Tube;CRT)的轻薄型平板显示装置(Flat Panel Display;FPD)的研究及商业化。
在这种平板显示装置领域,迄今轻巧而耗电少的液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay Device;LCD)是最受瞩目的显示装置,但液晶显示装置不是发光元件而是受光元件,在亮度、对比度(contrast ratio)及视野角等方面存在缺点,因此正在开展对能够克服这种缺点的新显示装置的活跃开发。其中,作为最近倍受瞩目的新一代显示装置之一,有有机发光显示装置(OLED:Organic Light Emitting Display)。
一般而言,显示装置中使用强度及透过性优秀的玻璃基板,最近,显示装置趋向紧凑化及高像素(high-pixel),因而应可以准备与此相应的玻璃基板。
作为一个示例,作为OLED工序之一,在向非晶硅(a-Si)照射激光而结晶成多晶硅(poly-Si)的ELA(Eximer Laser Annealing,准分子激光晶化)工序中,在多晶硅结晶的同时,表面会发生凸起,这种凸起可能发生不均衡现象(mura-effects),因此,玻璃基板应进行研磨处理,以便去除凸起。
为此,最近进行了旨在高效研磨基板表面的多样研究,但还远远不够,要求对此进行开发。
实用新型内容
所要解决的技术问题
本实用新型目的在于提供一种能够提高基板的处理效率、缩短处理时间的基板处理装置。
特别是本实用新型目的在于,能够缩短基板研磨需要的时间,提高生产率。
另外,本实用新型目的在于,能够缩短研磨垫调节所需的时间,提高生产率。
另外,本实用新型目的在于,能够提高研磨稳定性及研磨均匀度。
技术方案
旨在达成所述本实用新型目的的本实用新型提供一种基板处理装置,用于进行基板的研磨工序,其包括:基板放置部,其用于放置基板;第一研磨垫,其研磨基板;第二研磨垫,其与第一研磨垫独立地研磨基板。
其中,还可以包括门架单元,其沿着基板进行移动的第一方向移动。
其中,移动体可以为2个以上,安装于门架单元并沿第二方向移动,包括第一移动体和第二移动体;第一研磨垫和第二研磨垫分别安装于第一移动体和第二移动体,沿着第二方向移动。
其中,门架单元可以为2个以上,沿着第一方向配置,包括第一门架单元和第二门架单元,第一研磨垫在第一门架单元中沿第二方向移动,第二研磨垫在第二门架单元中沿第二方向移动。
其中,第二方向可以与第一方向直交。
其中,还可以包括:调节单元,其在第一研磨垫与第二研磨垫中的某一个研磨基板期间,调节第一研磨垫与第二研磨垫中的另一个。
其中,调节单元可以安装于门架单元,门架单元安装有第一研磨垫和第二研磨垫,沿第一方向移动。
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