[实用新型]一种低温二维真空样品台

权利要求书

1.一种低温二维真空样品台，其特征在于，包括两个回转驱动电机(1)、第一无磁旋转钢丝(2)、支撑套管(3)、冷却套管(4)、样品台旋转机构(5)、第二无磁旋转钢丝(6)、六通短管(8)和低温屏蔽罩(9)，其中：

两个回转驱动电机(1)的动力分别通过第一无磁旋转钢丝(2)和第二无磁旋转钢丝(6)传至样品台旋转机构(5)内，第一无磁旋转钢丝(2)将扭矩传至样品台旋转机构(5)内，实现样品台的面内旋转运动；第二无磁旋转钢丝(6)将扭矩传至样品台旋转机构(5)内，实现样品台的倾角摆动；支撑套管(3)上端连接六通短管(8)，支撑套管(3)下端连接样品台旋转机构(5)，第一无磁旋转钢丝(2)、第二无磁旋转钢丝(6)和冷却套管(4)位于支撑套管(3)内；冷却套管(4)上端设有冷源入口，以保持样品台旋转机构(5)处于低温环境中；样品台旋转机构(5)外部包覆低温屏蔽罩(9)，防止温度扩散。

2.根据权利要求1所述的一种低温二维真空样品台，其特征在于，所述的样品台旋转机构(5)包括冷头连接机构(51)、蜗杆旋转铰链(52)、样品台支撑(53)、样品台(54)、样品架(55)、旋转传动杆(56)和旋转支撑板(57)；冷头连接机构(51)固定在旋转支撑板(57)上且与冷却套管(4)连接，将低温传导至样品台(54)，保证样品台(54)处于低温环境中；蜗杆旋转铰链(52)两端分别连接第一无磁旋转钢丝(2)和样品架(55)，将第一无磁旋转钢丝(2)扭矩传递给样品架(55)，以实现样品架(55)的面内旋转运动；样品台支撑(53)一端与旋转支撑板(57)固定，另一端与样品台(54)通过旋转传动杆(56)内的传动板(56a)连接；样品台(54)中心位置安装有样品架(55)，样品架(55)上固定的涡轮(55a)穿过样品台(54)与蜗杆旋转铰链(52)配合，样品台(54)与旋转传动杆(56)连接；旋转传动杆(56)另一端连接第二无磁旋转钢丝(6)，将第二无磁旋转钢丝(6)的扭矩传至样品台(54)，实现样品台(54)的倾角摆动；旋转支撑板(57)上端与支撑套管(3)固定。

3.根据权利要求2所述的一种低温二维真空样品台，其特征在于，所述的冷头连接机构(51)，包括铜管(51a)、冷头连接部分(51b)、温度计(51c)和无磁螺钉(51d)；铜管(51a)固定在冷头连接部分(51b)的尾端；温度计(51c)固定在冷头连接部分(51b)上；无磁螺钉(51d)安装在冷头连接部分(51b)的前端；冷头连接机构(51)通过无磁螺钉(51d)固定在冷却套管(4)上，将冷却套管(4)内的低温传导至铜管(51a)，铜管(51a)与样品台(54)直接接触，保证温度可以最终传导至样品台(54)。

4.根据权利要求2所述的一种低温二维真空样品台，其特征在于，所述的蜗杆旋转铰链(52)，包括联轴器(52a)、蜗杆旋转铰链轴(52b)、旋转钢丝(52c)、滑动套(52d)、定位销(52e)、传动销(52f)、转接件(52g)和蜗杆(52h)；第一无磁旋转钢丝(2)通过联轴器(52a)与蜗杆旋转铰链轴(52b)连接，进而带动旋转钢丝(52c)转动，旋转钢丝(52c)与滑动套(52d)固定，定位销(52e)将传动销(52f)周向固定在滑动套(52d)内，固定的同时不影响传动销(52f)的轴向滑动，进而通过转接件(52g)将扭矩传至蜗杆(52h)上，蜗杆(52h)与固定在样品架(55)上的涡轮(55a)配合，带动涡轮(55a)旋转，从而实现样品架(55)的面内旋转运动。