[实用新型]一种低温二维真空样品台

说明书

本实用新型属于超高真空设备领域，具体涉及一种低温二维真空样品台。一种低温二维真空样品台，其两个回转驱动电机的动力分别由第一无磁旋转钢丝和第二无磁旋转钢丝传至样品台旋转机构内，第一无磁旋转钢丝将扭矩传至样品台旋转机构内，实现样品台的面内旋转运动；第二无磁旋转钢丝将扭矩传至样品台旋转机构内，实现样品台的倾角摆动；冷却套管下端与样品台旋转机构接触，冷却套管上端设有冷源入口，以保持样品台旋转机构低温；样品台旋转机构外包覆低温屏蔽罩，防止温度扩散。本实用新型结构简单，便于生产，且成本低廉，满足不同的使用要求；本实用新型在保持超高真空环境的同时，可以在超低温环境下工作。

技术领域

本实用新型属于超高真空设备领域，具体涉及一种低温二维真空样品台。

背景技术

真空有着不同的程度，通常情况下可分为低真空领域、中真空领域、高真空领域、超高真空领域和极高真空领域。在超高空真空领域内，包括真空容器壁上吸附的分子在内，气体分子的存在几乎可以忽略，固体清洁表面的维持时间也可以相对延长。因此，在诸如真空、低温等极端环境下，可以开展表面科学、半导体应用和核聚变装置等领域的研究，这些课题的研究对于解决当前人类面临的如环境、能源和新材料等问题起着重要的作用。所以，发展在超高真空领域、超低温环境等极端环境下工作的设备，此类需求变得尤为迫切。

现有技术中，如在光电子检测领域，对于解决在超高真空、极端低温环境下多维度移动的问题没有较好的解决方案，一般是通过机械手控制样品台的移动，但是机械手设备控制算法复杂，成本较高，且电子元件无法适应极端低温环境，所以研发一种可以在极端环境下实现多维移动的设备迫在眉睫。

目前，我国在高端的真空设备研发生产和技术普及方面都远远不能满足需要，更不具备实力与国际对手直接竞争，国家每年投入的科研经费有相当大的比例被用来采购国外的科研设备，这不仅使我国的科研受制于人，也很难拥有原创性的科研成果。因此，迅速提高我国真空技术装备的发展，是当务之急。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型创新设计了一种结构简单，成本低廉，易于实现批量工业化生产的低温二维真空样品台。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种低温二维真空样品台，包括两个回转驱动电机1、第一无磁旋转钢丝2、支撑套管3、冷却套管4、样品台旋转机构5、第二无磁旋转钢丝6、六通短管8 和低温屏蔽罩9，其中：

两个回转驱动电机1的动力分别由第一无磁旋转钢丝2和第二无磁旋转钢丝6传至样品台旋转机构5内，第一无磁旋转钢丝2将扭矩传至样品台旋转机构5内，实现样品台54的面内旋转运动；第二无磁旋转钢丝6将扭矩传至样品台旋转机构5内，实现样品台54的倾角摆动；支撑套管3上端连接六通短管8，支撑套管3下端连接样品台旋转机构5，第一无磁旋转钢丝2、第二无磁旋转钢丝6和冷却套管4位于支撑套管3内；冷却套管4下端与样品台旋转机构5接触，冷却套管4上端设有冷源入口，以保持样品台旋转机构5处于低温环境中；样品台旋转机构5外包覆低温屏蔽罩9，防止温度扩散。

进一步地，所述的第一无磁旋转钢丝2、第二无磁旋转钢丝6位于支撑套管 3内，由支撑片7将第一无磁旋转钢丝2和第二无磁旋转钢丝6束缚在支撑套管 3内。