[实用新型]一种电注入退火装置有效
申请号: | 201820736338.7 | 申请日: | 2018-05-17 |
公开(公告)号: | CN208225897U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 蒋新;刘涛;陈国才;刘斌;窦福存 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人: | 项丽 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电池片 反向电流 电注入 工位 退火 本实用新型 低温工艺 高温工艺 框架主体 退火装置 热量控制系统 处理效率 冷却工位 上料工位 输送滚轮 输送系统 退火处理 下料工位 转换效率 工艺腔 滚轮 腔内 载具 承载 配置 | ||
1. 一种电注入退火装置,用于电池片退火,包括框架主体,所述框架主体的底部设置有滚轮输送系统,沿所述输送滚轮系统的行进方向所述框架主体中依序设置有上料工位、反向电流注入工位 、冷却工位和下料工位,用于承载电池片的载具经所述输送滚轮系统依次经过所述上料工位、反向电流注入工位 、冷却工位和下料工位进行退火处理;其中,所述反向电流注入工位用于对所述载具内的电池片进行电注入,所述反向电流注入工位中设有至少两个工艺腔,包括至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔,所述反向电流注入工位中配置有热量控制系统,用于调节所述至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔的腔内温度。
2.根据权利要求1所述的电注入退火装置,其特征在于,在所述反向电流注入工位中对应于每个工艺腔分别配置有一个电流注入系统,所述电流注入系统包括电极气缸和电极架,所述电极气缸竖直固定在所述框架主体上并位于每个工艺腔的上方,所述电极架固定在所述电极气缸的底部。
3.根据权利要求2所述的电注入退火装置,其特征在于,所述电极架包括绝缘固定架和导电柱,所述绝缘固定架的中部固定连接电极气缸的底部,固定在所述绝缘固定架上的所述导电柱对应所述载具上的电池片的中心,用于接触所述电池片并对电池片进行电流注入。
4.根据权利要求1所述的电注入退火装置,其特征在于,所述热量控制系统包括分别设置在所述至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔中的石英加热器、循环风机和抽风装置,所述石英加热器用于对工位的加热,循环风机用于对工位中提供循环风、均匀热量,所述抽风装置设置在工位顶部用于控制调节工位中的散热。
5.根据权利要求4所述的电注入退火装置,其特征在于,所述电流注入系统中的电极架处配置了用于读取工艺腔内温度的热电偶,所述热量控制系统根据热电偶反馈的温度信息控制调节对应工艺腔中所述石英加热器、循环风机和抽风装置的工作,实现对于工艺腔中的温度控制。
6.根据权利要求4或5中所述的电注入退火装置,其特征在于,所述热量控制系统还包括中压风机,所述中压风机设置在所述反向电流注入工位的顶部,用于在抽风不足时控制所述反向电流注入工位的温度。
7.根据权利要求1所述的电注入退火装置,其特征在于,所述滚轮输送系统包括多根连续且平行设置的滚轮,所述滚轮的轴承座设置在固定用的型材上,所述型材通过调节螺栓沿所述框架主体的长度方向水平固定,所述调节螺栓竖直设置,用于调整所述型材的上下高度进而调整所述滚轮输送系统的水平。
8.根据权利要求1所述的电注入退火装置,其特征在于,在所述反向电流注入工位的四壁上设有保温壁板,且在每个工位之间均设置有隔热材料制成的隔热门,所述隔热门的顶部与一升降气缸相连。
9.根据权利要求1所述的电注入退火装置,其特征在于,所述载具为多层载具,所述载具包括云母制成的承载主体,在所述承载主体中通过限位件分隔出多层用来放置电池片的腔体,上下两层腔体之间设置有用于电连接两层腔体中电池片的导电柱。
10.根据权利要求9所述的电注入退火装置,其特征在于,所述每层腔体的底部设置有与电池片形状适配的导电板,所述导电柱固定在所述导电板的底部,且导电柱的下部还固定连接有第二导电板,所述第二导电板的形状与电池片适配。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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