[实用新型]一种电注入退火装置

说明书

本实用新型涉及一种电注入退火装置，用于电池片退火，包括框架主体，所述框架主体的底部设置有滚轮输送系统，用于承载电池片的载具经所述输送滚轮系统依次经过所述上料工位、反向电流注入工位、冷却工位和下料工位进行退火处理；其中，所述反向电流注入工位用于对所述载具内的电池片进行电注入，所述反向电流注入工位中设有至少两个工艺腔，包括至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔，所述反向电流注入工位中配置有热量控制系统，用于调节所述至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔的腔内温度。本实用新型能够实现对于电池片的电注入状况下的退火，处理效率高，能够有效提高电池片的转换效率。

技术领域

本实用新型涉及电池片加工技术领域，特别是涉及一种用于对电池片进行退火的装置，尤其涉及一种电注入的退火装置。

背景技术

硅片（电池片）中含有氧，氧有吸取杂质的作用，对硅片进行退火处理，能够促进存留于硅中的氧向外扩散，在硅片表面形成低氧环境（洁净区），从而减少甚至能够消除由氧造成的晶体缺陷，有利于后期器件制造，硅片退火能够对其电阻率及少子寿命造成影响。另外，光致衰减(LID)是指太阳能电池及组件在光照过程中引起的功率衰减现象。为了提高电池效率，目前研发出了PERC（钝化发射极及背局域接触电池）高效电池，但经过实践发现，如果不对成品电池进行处理，高效电池的LID现象会减小电池的效率增益，降低电池片的转换效率。

针对上述缺陷，现在多采用退火处理，但发现在硅片退火过程中如保持其处于通电状态，能够使得硅片的退火效果更好，具备更优越的性能，但目前还没有硅片退火设备对此制造出相应的装置，因此急需一种可靠工作的硅片退火设备来解决这一问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是要提供一种电注入退火装置，能够实现对于电池片的电注入状况下的退火，处理效率高，能够有效提高电池片的转换效率。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种电注入退火装置，用于电池片退火，包括框架主体，所述框架主体的底部设置有滚轮输送系统，沿所述输送滚轮系统的行进方向所述框架主体中依序设置有上料工位、反向电流注入工位 、冷却工位和下料工位，用于承载电池片的载具经所述输送滚轮系统依次经过所述上料工位、反向电流注入工位 、冷却工位和下料工位进行退火处理；其中，所述反向电流注入工位用于对所述载具内的电池片进行电注入，所述反向电流注入工位中设有至少两个工艺腔，包括至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔，所述反向电流注入工位中配置有热量控制系统，用于调节所述至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔的腔内温度。

对于上述技术方案，发明人还有进一步的优化措施。

优选地，在所述反向电流注入工位中对应于每个工艺腔分别配置有一个电流注入系统，所述电流注入系统包括电极气缸和电极架，所述电极气缸竖直固定在所述框架主体上并位于每个工艺腔的上方，所述电极架固定在所述电极气缸的底部。

进一步地，所述电极架包括绝缘固定架和导电柱，所述绝缘固定架的中部固定连接电极气缸的底部，固定在所述绝缘固定架上的所述导电柱对应所述载具上的电池片中心，用于接触所述电池片并对电池片进行电流注入。

优选地，所述热量控制系统包括分别设置在所述至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔中的石英加热器、循环风机和抽风装置，所述石英加热器用于对工位的加热，循环风机用于对工位中提供循环风、均匀热量，所述抽风装置设置在工位顶部用于控制调节工位中的散热。

进一步地，所述电流注入系统中的电极架处配置了用于读取工艺腔内温度的热电偶，所述热量控制系统根据热电偶反馈的温度信息控制调节对应工艺腔中所述石英加热器、循环风机和抽风装置的工作，实现对于工艺腔中的温度控制。

更进一步地，所述热量控制系统还包括中压风机，所述中压风机设置在所述反向电流注入工位的顶部，用于在抽风不足时控制所述反向电流注入工位的温度。