[实用新型]一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器

权利要求书

1.一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，包括执行器本体(1)和执行器安装板(2)，执行器本体(1)与执行器安装板(2)相固定连接；执行器本体(1)内开设有末端执行器气道(12)，执行器本体(1)表面开设有吸附口(13)和末端执行器气孔(11)，吸附口(13)和末端执行器气孔(11)之间通过末端执行器气道(12)相连通；其特征是：

还包括固定连接在执行器安装板(2)上的换向阀，换向阀上设有真空气源进气接头(51)、离子风气源进气接头(52)和换向阀出气口(53)；

换向阀出气口(53)与末端执行器气孔(11)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，其特征是：所述执行器安装板(2)内开设有安装板气道(23)，执行器表面开设有气嘴安装连通孔(21)和执行器连通孔(22)，气嘴安装连通孔(21)和执行器连通孔(22)之间通过安装板气道(23)相连通；

气嘴安装连通孔(21)与换向阀出气口(53)相连通。

3.根据权利要求2所述的一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，其特征是：所述执行器安装板(2)上固定连接有进气气嘴(6)，进气气嘴(6)与所述气嘴安装连通孔(21)相连通，气嘴安装连通孔(21)与所述换向阀出气口(53)之间通过软管相连通。

4.根据权利要求1所述的一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，其特征是：所述执行器安装板(2)上开设有气源管路通孔(24)。

5.根据权利要求1所述的一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，其特征是：还包括与所述执行器安装板(2)相固定连接的护罩(4)，所述换向阀位于护罩(4)内侧。

6.根据权利要求1所述的一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，其特征是：还包括执行器盖板(3)，执行器盖板(3)与所述执行器安装板(2)相固定连接，所述执行器本体(1)位于执行器盖板(3)与执行器安装板(2)之间。

7.根据权利要求6所述的一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，其特征是：所述执行器盖板(3)与所述执行器安装板(2)之间通过紧固件相紧固连接。

8.根据权利要求1至7任一项所述的一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，其特征是：所述换向阀为电磁换向阀(5)。