[实用新型]一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器

说明书

本实用新型公开了一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，包括执行器本体和执行器安装板，执行器本体与执行器安装板相固定连接；执行器本体内开设有末端执行器气道，执行器本体表面开设有吸附口和末端执行器气孔，吸附口和末端执行器气孔之间通过末端执行器气道相连通；还包括固定连接在执行器安装板上的换向阀，换向阀上设有真空气源进气接头、离子风气源进气接头和换向阀出气口；换向阀出气口与末端执行器气孔相连通；末端执行器吸附晶圆之前可对晶圆表面吹离子风，离子风可中和晶圆表面的静电电荷，使残留在晶圆表面的静电去除更彻底；向晶圆吹完离子风后可通过换向阀自动切换气源，将晶圆吸附在吸附口上，不需要翻转晶圆或末端执行器。

技术领域

本实用新型涉及机械手技术领域，具体涉及一种晶圆搬运末端执行器。

背景技术

末端执行器是连接于机械手末端用于夹取物品的执行装置。

现今在半导体行业内，随着IC线宽逐年减小，静电敏感电路的增加，去除晶圆上的静电这项工作要时时把控，避免影响生产线上产品的质量。

在现行使用的吸附型末端执行器中都有着一个共同的特性：执行器只采用它的抓取功能。在晶圆进入设备前进行单面离子风除静电处理，执行器与晶圆接触面则没有相应的除静电装置，或晶圆与执行器贴合面积吹不到离子风，因此产生静电消除不完全的缺陷，以往要么离子风吹晶圆上表面，要么吹晶圆下表面。如果想使晶圆两面都得到离子风的除静电工艺，则需要翻转晶圆，放置到设备内晶圆盒内进行中转，从晶圆除过静电面再次吸附，再使离子风扫一遍晶圆另一面。过程繁琐复杂，且工作效率很低。而且如果客户想提升生产线效率，还有可能在传片过程中忽略静电消除是否彻底的问题，将会造成产线产品的质量下降，进而造成重大的经济损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，优点在于：在晶圆进入设备前，执行器可对晶圆表面进行除静电处理，进一步去除晶圆表面的静电。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：

一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，包括执行器本体和执行器安装板，执行器本体与执行器安装板相固定连接；执行器本体内开设有末端执行器气道，执行器本体表面开设有吸附口和末端执行器气孔，吸附口和末端执行器气孔之间通过末端执行器气道相连通；

还包括固定连接在执行器安装板上的换向阀，换向阀上设有真空气源进气接头、离子风气源进气接头和换向阀出气口；

换向阀出气口与末端执行器气孔相连通。

本实用新型进一步设置为：所述执行器安装板内开设有安装板气道，执行器表面开设有气嘴安装连通孔和执行器连通孔，气嘴安装连通孔和执行器连通孔之间通过安装板气道相连通；

气嘴安装连通孔与换向阀出气口相连通。

本实用新型进一步设置为：所述执行器安装板上固定连接有进气气嘴，进气气嘴与所述气嘴安装连通孔相连通，气嘴安装连通孔与所述换向阀出气口之间通过软管相连通。

本实用新型进一步设置为：所述执行器安装板上开设有气源管路通孔。

本实用新型进一步设置为：还包括与所述执行器安装板相固定连接的护罩，所述换向阀位于护罩内侧。

本实用新型进一步设置为：还包括执行器盖板，执行器盖板与所述执行器安装板相固定连接，所述执行器本体位于执行器盖板与执行器安装板之间。

本实用新型进一步设置为：所述执行器盖板与所述执行器安装板之间通过紧固件相紧固连接。

本实用新型进一步设置为：所述换向阀为电磁换向阀。

本实用新型具有如下优点：