[实用新型]一种工作台及背面对准装置

权利要求书

1.一种工作台，其特征在于，包括：

水平基座(1)，其上开设有贯穿所述水平基座(1)上表面的透光孔(11)，所述透光孔(11)内设置有第一透光片(12)；

气足(2)，设置在所述水平基座(1)上，且能相对所述水平基座(1)在水平面上移动，所述气足(2)上间隔开设有多个第一通光孔(211)，当所述气足(2)在所述水平基座(1)上移动时，多个所述第一通光孔(211)能分别与所述透光孔(11)导通；

吸盘(5)，设置在所述气足(2)上方，所述吸盘(5)能相对所述气足(2)进行三个自由度上的转动及能相对所述气足(2)沿垂直方向平移，所述吸盘(5)对应于所述第一通光孔(211)的位置开设有第二通光孔(51)，所述第一通光孔(211)与所述第二通光孔(51)连通，所述第二通光孔(51)内设置有第二透光片(52)，所述吸盘(5)上表面还设置有用于吸附基底(20)的第一吸附气道；

第一导气组件(6)，所述第一导气组件(6)一端与所述气足(2)内部连通，另一端与所述第一吸附气道连通。

2.根据权利要求1所述的工作台，其特征在于，所述工作台还包括调节装置，所述调节装置包括：

水平调节组件(7)，与所述气足(2)连接，用于带动所述气足(2)进行水平方向移动；

垂向调节组件(8)，一端与所述气足(2)连接，另一端与所述吸盘(5)连接，用于带动所述吸盘(5)相对所述气足(2)倾斜和沿垂向方向平移；

旋转调节组件(9)，与所述吸盘(5)连接，用于带动所述吸盘(5)相对所述气足(2)绕垂向转动。

3.根据权利要求2所述的工作台，其特征在于，所述工作台还包括：

吸盘座(4)，上端与所述吸盘(5)连接，下端与所述气足(2)连接，所述垂向调节组件(8)和所述旋转调节组件(9)均通过所述吸盘座(4)与所述吸盘(5)连接；

所述吸盘座(4)对应于所述第一通光孔(211)的位置开设有第三通光孔(41)，所述第三通光孔(41)分别与所述第一通光孔(211)和所述第二通光孔(51)连通；

所述吸盘座(4)的上表面和所述吸盘(5)的下表面中的至少一个开设有第二吸附气道(42)，所述第一导气组件(6)与所述第二吸附气道(42)连通。

4.根据权利要求3所述的工作台，其特征在于，所述工作台还包括：

上平板(3)，下端与所述气足(2)连接，上端与所述吸盘座(4)连接，所述垂向调节组件(8)一端连接所述气足(2)，另一端连接所述上平板(3)，所述吸盘座(4)与所述吸盘(5)能相对所述上平板(3)绕垂向转动。

5.根据权利要求4所述的工作台，其特征在于，所述吸盘座(4)和所述吸盘(5)均为圆盘状结构，所述旋转调节组件(9)带动所述吸盘座(4)绕所述吸盘座(4)的中心轴转动。

6.根据权利要求5所述的工作台，其特征在于，所述旋转调节组件(9)包括：

弧形电机(91)，所述弧形电机(91)的定子(911)与所述上平板(3)固定，所述弧形电机(91)的转子(912)与所述吸盘座(4)的外壁固定连接，且所述转子(912)远离所述定子(911)的一侧与所述吸盘座(4)外壁贴合。

7.根据权利要求6所述的工作台，其特征在于，所述旋转调节组件(9)还包括：

弧形导向块(92)，固定在所述上平板(3)上，多个所述弧形导向块(92)沿所述吸盘座(4)的周向间隔设置，且所述弧形导向块(92)的弧形面与所述吸盘座(4)的外壁配合。

8.根据权利要求7所述的工作台，其特征在于，所述旋转调节组件(9)还包括：

第二导气组件(93)，所述上平板(3)的上表面和所述吸盘座(4)的下表面中的至少一个设置有充气气道，所述第二导气组件(93)的一端与所述气足(2)的内部连通，另一端与所述充气气道连通。