[实用新型]一种全固态紫外激光微加工设备

权利要求书

1.一种全固态紫外激光微加工设备，其特征在于：包括支架组件(1)、激光组件(2)和调节组件(3)，所述支架组件(1)包括工作台(11)、底座(12)、伸缩杆(13)和安装台(14)，所述底座(12)固定连接于所述工作台(11)，所述底座(12)位于所述工作台(11)的下表面，所述伸缩杆(13)固定连接于所述工作台(11)，所述伸缩杆(13)位于所述工作台(11)的上表面，所述安装台(14)固定连接于所述伸缩杆(13)，所述安装台(14)位于所述伸缩杆(13)的上端，所述工作台(11)的内部开设有空腔(15)，

所述激光组件(2)包括全固态紫外激光发射器(21)、扩束镜(22)、反射镜(23)、聚焦透镜(24)、捕捉器(25)、显示器(26)，所述全固态紫外激光发射器(21)和所述显示器(26)均固定连接于所述安装台(14)，所述全固态紫外激光发射器(21)位于所述安装台(14)的上表面，所述显示器(26)位于所述安装台(14)的侧面，所述扩束镜(22)、所述反射镜(23)、所述聚焦透镜(24)、所述捕捉器(25)均通过支架固定连接于所述安装台(14)，所述扩束镜(22)、所述反射镜(23)和所述捕捉器(25)均位于所述安装台(14)的上表面，所述聚焦透镜(24)位于所述安装台(14)的下表面，所述全固态紫外激光发射器(21)、所述捕捉器(25)和所述显示器(26)均电性连接于外部电源，

所述调节组件(3)包括细调节旋钮(31)、粗调节旋钮(32)、移动板(33)、转旋钮(34)、转螺旋(35)和加工台(36)，所述细调节旋钮(31)和所述粗调节旋钮(32)均转动连接于所述工作台(11)，所述细调节旋钮(31)和所述粗调节旋钮(32)均位于所述工作台(11)的内部，且所述细调节旋钮(31)位于所述粗调节旋钮(32)的左侧，所述移动板(33)滑动连接于所述工作台(11)，所述移动板(33)位于所述工作台(11)的上表面，所述转旋钮(34)滚动连接于所述移动板(33)，所述转旋钮(34)位于所述移动板(33)的上表面，所述转螺旋(35)转动连接于所述转旋钮(34)，所述转螺旋(35)位于所述转旋钮(34)的上表面，所述加工台(36)转动连接于所述转螺旋(35)，所述加工台(36)位于所述转螺旋(35)的上表面。

2.如权利要求1所述的一种全固态紫外激光微加工设备，其特征在于：所述反射镜(23)设置为倾斜，且倾斜的角度为四十五度。

3.如权利要求1所述的一种全固态紫外激光微加工设备，其特征在于：所述全固态紫外激光发射器(21)、所述扩束镜(22)和所述反射镜(23)位于同一直线上，所述捕捉器(25)、所述聚焦透镜(24)和所述加工台(36)位于同一垂直线上。

4.如权利要求1所述的一种全固态紫外激光微加工设备，其特征在于：所述移动板(33)的上、下两个表面均设置为齿面，所述细调节旋钮(31)和所述粗调节旋钮(32)均啮合于所述移动板(33)的下表面。

5.如权利要求1所述的一种全固态紫外激光微加工设备，其特征在于：所述转旋钮(34)的一端转动啮合于所述移动板(33)的上表面，所述转旋钮(34)的另一端转动连接于所述移动板(33)的上表面。

6.如权利要求1所述的一种全固态紫外激光微加工设备，其特征在于：所述细调节旋钮(31)的齿轮齿比所述粗调节旋钮(32)的齿轮齿数要密，且所述细调节旋钮(31)的齿轮齿比所述粗调节旋钮(32)的齿轮齿厚度小。