[实用新型]一种全固态紫外激光微加工设备

说明书

本实用新型提供了一种全固态紫外激光微加工设备，包括支架组件、激光组件和调节组件，所述支架组件包括工作台、底座、伸缩杆和安装台，所述底座固定连接于所述工作台，所述底座位于所述工作台的下表面，所述伸缩杆固定连接于所述工作台，所述伸缩杆位于所述工作台的上表面；细调节旋钮和粗调节旋钮均啮合于移动板的下表面，从而通过拧动所述粗调节旋钮和所述细调节旋钮使得所述移动板下表面进行移动，进而带动整个所述移动板进行位置的左、右改变，所述细调节旋钮的齿轮比所述粗调节旋钮的齿轮数密，从而保证转动相同的圈数所述细调节旋钮改变的位置较小，从而进行细微的调节，从而对整个加工件进行位置的微调，保证了加工的精度和成品合格率。

技术领域

本实用新型属于微加工技术领域，尤其涉及一种全固态紫外激光微加工设备。

背景技术

激光微加工一般所指加工尺寸在几个到几百微米的工艺过程，作为激光加工的一个分支，激光微加工在过去十年被广泛关注，它主要是利用高能量密度的激光束对材料进行直接的激光烧蚀加工，微小区域的固体材料吸收激光的能量使得材料熔化或者气化并从加工表面喷射出来，达到加工目的，激光微加工技术的基本特点包括：激光束的能量密度高、加工速度快、热影响区小、非接触、效率高、成本低、易于实现自动化等优点。

目前市场上激光微加工由于对加工精度的要求越来越高，而且加工材料许多都比较昂贵，成品率都要求也比较高，这样对加工工件的精确移动，调整方位显得尤为重要。

实用新型内容

本实用新型提供一种全固态紫外激光微加工设备，旨在解决激光微加工由于对加工精度的要求越来越高，而且加工材料许多都比较昂贵，成品率都要求也比较高，这样对加工工件的精确移动，调整方位显得尤为重要。

本实用新型是这样实现的，一种全固态紫外激光微加工设备，包括支架组件、激光组件和调节组件，所述支架组件包括工作台、底座、伸缩杆和安装台，所述底座固定连接于所述工作台，所述底座位于所述工作台的下表面，所述伸缩杆固定连接于所述工作台，所述伸缩杆位于所述工作台的上表面，所述安装台固定连接于所述伸缩杆，所述安装台位于所述伸缩杆的上端，所述工作台的内部开设有空腔，所述激光组件包括全固态紫外激光发射器、扩束镜、反射镜、聚焦透镜、捕捉器、显示器，所述全固态紫外激光发射器和所述显示器均固定连接于所述安装台，所述全固态紫外激光发射器位于所述安装台的上表面，所述显示器位于所述安装台的侧面，所述扩束镜、所述反射镜、所述聚焦透镜、所述捕捉器均通过支架固定连接于所述安装台，所述扩束镜、所述反射镜和所述捕捉器均位于所述安装台的上表面，所述聚焦透镜位于所述安装台的下表面，所述全固态紫外激光发射器、所述捕捉器和所述显示器均电性连接于外部电源，所述调节组件包括细调节旋钮、粗调节旋钮、移动板、转旋钮、转螺旋和加工台，所述细调节旋钮和所述粗调节旋钮均转动连接于所述工作台，所述细调节旋钮和所述粗调节旋钮均位于所述工作台的内部，且所述细调节旋钮位于所述粗调节旋钮的左侧，所述移动板滑动连接于所述工作台，所述移动板位于所述工作台的上表面，所述转旋钮滚动连接于所述移动板，所述转旋钮位于所述移动板的上表面，所述转螺旋转动连接于所述转旋钮，所述转螺旋位于所述转旋钮的上表面，所述加工台转动连接于所述转螺旋，所述加工台位于所述转螺旋的上表面。

优选的，所述反射镜设置为倾斜，且倾斜的角度为四十五度。

优选的，所述全固态紫外激光发射器、所述扩束镜和所述反射镜位于同一直线上，所述捕捉器、所述聚焦透镜和所述加工台位于同一垂直线上。

优选的，所述移动板的上、下两个表面均设置为齿面，所述细调节旋钮和所述粗调节旋钮均啮合于所述移动板的下表面。

优选的，所述转旋钮的一端转动啮合于所述移动板的上表面，所述转旋钮的另一端转动连接于所述移动板的上表面。

优选的，所述细调节旋钮的齿轮齿比所述粗调节旋钮的齿轮齿数要密，且所述细调节旋钮的齿轮齿比所述粗调节旋钮的齿轮齿厚度小。