[实用新型]一种紫外激光微加工平台

权利要求书

1.一种紫外激光微加工平台，其特征在于：包括平台组件(1)和激光组件(2)，所述平台组件(1)包括垫脚(11)、加工台(12)、伸缩杆(13)、工作台(14)、支撑柱(15)和橡皮塞(16)，所述加工台(12)固定连接于所述垫脚(11)，所述加工台(12)位于所述垫脚(11)的上表面，所述伸缩杆(13)固定连接于所述加工台(12)，所述伸缩杆(13)位于所述加工台(12)的上表面，所述工作台(14)转动连接于所述伸缩杆(13)，所述工作台(14)位于所述伸缩杆(13)的外侧壁，所述支撑柱(15)通过所述橡皮塞(16)滑动连接于所述加工台(12)，所述支撑柱(15)位于所述加工台(12)的内部，所述加工台(12)的内部开设有空腔(17)，

所述激光组件(2)包括紫外激光器(21)、扩束镜(22)、分光片(23)、振镜X(24)、振镜Y(25)、聚焦透镜(26)和同轴CCD显微监视系统(27)，所述紫外激光器(21)、所述扩束镜(22)、所述分光片(23)、所述振镜X(24)、所述振镜Y(25)、所述同轴CCD显微监视系统(27)均固定连接于所述工作台(14)，所述紫外激光器(21)、所述扩束镜(22)、所述分光片(23)和所述振镜X(24)均位于所述工作台(14)的上表面，所述振镜Y(25)和所述同轴CCD显微监视系统(27)的内部，所述紫外激光器(21)、所述扩束镜(22)、所述分光片(23)和所述振镜X(24)按顺序横向依次排开，所述同轴CCD显微监视系统(27)位于所述振镜Y(25)的左侧，所述聚焦透镜(26)转动连接于所述振镜Y(25)，所述聚焦透镜(26)位于所述振镜Y(25)的下方，所述同轴光源(28)滑动连接于所述伸缩杆(13)，所述同轴光源(28)位于所述伸缩杆(13)的外侧壁，所述紫外激光器(21)、所述同轴CCD显微监视系统(27)和所述同轴光源(28)均电性连接于外部电源。

2.如权利要求1所述的一种紫外激光微加工平台，其特征在于：所述支撑柱(15)设置有二十五个，且分为五行五列排列在所述加工台(12)的上表面。

3.如权利要求1所述的一种紫外激光微加工平台，其特征在于：所述空腔(17)设置为圆柱型，且所述空腔(17)的底端留有出气孔，所述出气孔与外部环境相通。

4.如权利要求1所述的一种紫外激光微加工平台，其特征在于：所述支撑柱(15)与所述橡皮塞(16)一体成型，且所述橡皮塞(16)位于所述支撑柱(15)的下端，所述橡皮塞(16)的外径于所述空腔(17)的内径相同。

5.如权利要求1所述的一种紫外激光微加工平台，其特征在于：所述聚焦透镜(26)位于所述支撑柱(15)的正上方。

6.如权利要求1所述的一种紫外激光微加工平台，其特征在于：所述同轴CCD显微监视系统(27)包括同轴CCD探测器和监视器。