[实用新型]一种紫外激光微加工平台

说明书

本实用新型适用于机械加工技术领域，提供了一种紫外激光微加工平台，包括平台组件和激光组件，所述平台组件包括垫脚、加工台、伸缩杆、工作台、支撑柱和橡皮塞，所述加工台固定连接于所述垫脚，所述加工台位于所述垫脚的上表面，所述伸缩杆固定连接于所述加工台，所述伸缩杆位于所述加工台的上表面；一体成型的所述支撑柱和所述橡皮塞，且所述橡皮塞收容在圆柱形所述空腔的内部，从而所述橡皮塞可以在所述空腔的内部上、下滑动，进而带动上方的所述支撑柱的高度不同，以适应不规则状的加工件，保证了不规则状加工件加工时的平整和平稳，从而避免了工作人员手持，从而减少了整体的危险系数。

技术领域

本实用新型属于机械加工技术领域，尤其涉及一种紫外激光微加工平台。

背景技术

微加工通常指通过在微细工件上去除材料实现特征的创建和修改，激光加工技术是常见的一种激光微细加工技术，激光微细加工有许多优点，包括良好的柔性光束扫描轨迹路径的可控制性，非接触式加工激光束为最主要的加工刀具，且与工件不接触，高分辨率小于10微米，因此，激光微细加工有许多现有的和潜在的应用领域，包括但不局限于如：医疗设备、太阳能电池以及提高摩擦性能的机械零件表面微织构。

目前市场上微加工平台的工作台面设置为平整，一方面方便使用者对加工件的放置，另一方面可以保持加工件的平稳，但是这种平整的台面无法放置不规整或者不规则的加工件，使得这种加工件在加工时需要被工作人员手持才能进行操作，不利于整体的加工，且增加了危险系数。

实用新型内容

本实用新型提供一种紫外激光微加工平台，旨在解决微加工平台的工作台面设置为平整，一方面方便使用者对加工件的放置，另一方面可以保持加工件的平稳，但是这种平整的台面无法放置不规整或者不规则的加工件，使得这种加工件在加工时需要被工作人员手持才能进行操作，不利于整体的加工，且增加了危险系数。

本实用新型是这样实现的，一种紫外激光微加工平台，包括平台组件和激光组件，所述平台组件包括垫脚、加工台、伸缩杆、工作台、支撑柱和橡皮塞，所述加工台固定连接于所述垫脚，所述加工台位于所述垫脚的上表面，所述伸缩杆固定连接于所述加工台，所述伸缩杆位于所述加工台的上表面，所述工作台转动连接于所述伸缩杆，所述工作台位于所述伸缩杆的外侧壁，所述支撑柱通过所述橡皮塞滑动连接于所述加工台，所述支撑柱位于所述加工台的内部，所述加工台的内部开设有空腔，所述激光组件包括紫外激光器、扩束镜、分光片、振镜X、振镜Y、聚焦透镜和同轴CCD显微监视系统，所述紫外激光器、所述扩束镜、所述分光片、所述振镜X、所述振镜Y、所述同轴CCD显微监视系统均固定连接于所述工作台，所述紫外激光器、所述扩束镜、所述分光片和所述振镜X均位于所述工作台的上表面，所述振镜Y和所述同轴CCD显微监视系统的内部，所述紫外激光器、所述扩束镜、所述分光片和所述振镜X按顺序横向依次排开，所述同轴CCD显微监视系统位于所述振镜Y的左侧，所述聚焦透镜转动连接于所述振镜Y，所述聚焦透镜位于所述振镜Y的下方，所述同轴光源滑动连接于所述伸缩杆，所述同轴光源位于所述伸缩杆的外侧壁，所述紫外激光器、所述同轴CCD显微监视系统和所述同轴光源均电性连接于外部电源。

优选的，所述支撑柱设置有二十五个，且分为五行五列排列在所述加工台的上表面。

优选的，所述空腔设置为圆柱型，且所述空腔的底端留有出气孔，所述出气孔与外部环境相通。

优选的，所述支撑柱与所述橡皮塞一体成型，且所述橡皮塞位于所述支撑柱的下端，所述橡皮塞的外径于所述空腔的内径相同。

优选的，所述聚焦透镜位于所述支撑柱的正上方。

优选的，所述同轴CCD显微监视系统包括同轴CCD探测器和监视器。