[实用新型]一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体有效
| 申请号： | 201820756224.9 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN208111397U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 吴兴植;韩相镇 | 申请（专利权）人： | 合肥微睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 上部框架 下部框架 加热机构 本实用新型 贯通孔 上端面 固接 等离子体 环形挡板 限位槽 组装体 装配 电源连接部 放射状排列 框架连接部 环形隔板 环形阵列 内部固定 蚀刻工艺 接合 等离子 固定罩 硬钎焊 垫圈 气管 坚固 封锁 | ||
1.一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体，包括上部框架（1）和下部框架（2），其特征在于:所述上部框架（1）为开口圆环形，所述上部框架（1）上端面固定连接有电源连接部（8），所述上部框架（1）上端面环形阵列有若干气管（9），所述下部框架（2）与上部框架（1）同轴设置，所述下部框架（2）与上部框架（1）通过框架连接部（5）固定连接，所述下部框架（2）的直径大于上部框架（1），并且，所述下部框架（2）比上部框架（1）大的区域上端面开设有若干贯通孔（7），所述贯通孔（7）以放射状排列，所述下部框架（2）内部开设有加热机构限位槽（6），所述加热机构限位槽（6）内部固定设有加热机构（3），所述加热机构（3）上方固定连接有加热机构固定罩（4），所述加热机构（3）包括加热线圈（14）、环形加热器（16）和供应部（15），所述环形加热器（16）为内部中空结构，所述加热线圈（14）设置在环形加热器（16）内部，所述供应部（15）一端与电源连接部（8）电性连接，所述供应部（15）另一端与加热线圈（14）固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体，其特征在于：所述上部框架（1）和下部框架（2）均为相同材质制成。
3.根据权利要求1所述的一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体，其特征在于：所述上部框架（1）和下部框架（2）的制作材料为铝合金。
4.根据权利要求1所述的一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体，其特征在于：所述贯通孔（7）内侧壁开设有若干第一卡槽（10），所述贯通孔（7）内卡接有垫圈（12），所述垫圈（12）外侧壁固定连接有若干卡块（11），所述卡块（11）与第一卡槽（10）匹配，所述垫圈（12）内侧壁开设有若干第二卡槽（13）。
5.根据权利要求1所述的一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体，其特征在于：所述下部框架（2）与上部框架（1）通过框架连接部（5）固定连接的方式为硬钎焊。
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