[实用新型]一种掩膜板干燥装置以及制造系统有效
| 申请号： | 201820759590.X | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN208187034U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 尹志;孙朴 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | F26B11/00 | 分类号： | F26B11/00;F26B21/00;F26B25/00;F26B5/16 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 干燥装置 待干燥 低温液化装置 放置空间 干燥室 悬浮 吹气装置 辅助干燥 制造系统 本实用新型 产品品质 初步干燥 气体液化 水汽 后表面 体液 吹气 附着 室内 清洁 | ||
1.一种掩膜板干燥装置，其特征在于，包括:
干燥室，所述干燥室具有用于放置待干燥掩膜板的放置空间；
设于所述放置空间内以对待干燥掩膜板相对的两侧表面进行吹气干燥的吹气装置；
设于所述放置空间内、且位于待干燥掩膜板两侧的低温液化装置，所述低温液化装置用于将悬浮于所述待干燥掩膜板两侧空间内的汽体液化，以形成对所述待干燥掩膜板的辅助干燥。
2.根据权利要求1所述的掩膜板干燥装置，其特征在于，所述低温液化装置内设有用于干燥液化后水汽的干燥单元。
3.根据权利要求2所述的掩膜板干燥装置，其特征在于，所述干燥单元包括干燥剂。
4.根据权利要求3所述的掩膜板干燥装置，其特征在于，所述低温液化装置的横截面的面积小于所述待干燥掩膜板的面积，且沿所述待干燥掩膜板的延伸方向，所述低温液化装置在所述横截面所在平面内做循环往复运动。
5.根据权利要求4所述的掩膜板干燥装置，其特征在于，还包括用于驱动所述低温液化装置动作的驱动装置。
6.根据权利要求5所述的掩膜板干燥装置，其特征在于，所述驱动装置为气缸。
7.根据权利要求1所述的掩膜板干燥装置，其特征在于，还包括用于夹取所述待干燥掩膜板的夹取装置。
8.根据权利要求1-7任一项所述的掩膜板干燥装置，其特征在于，所述吹气装置为气刀，所述气刀具有多个喷气口，且多个所述喷气口的排列方向与所述待干燥掩膜板在所述放置空间内的放置方向垂直。
9.根据权利要求1-7任一项所述的掩膜板干燥装置，其特征在于，所述吹气装置设有用于使吹出气体的温度范围为40℃～45℃的加热模块。
10.一种制造系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的掩膜板干燥装置。
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