[实用新型]一种掩膜板干燥装置以及制造系统

说明书

本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种掩膜板干燥装置以及制造系统，该掩膜板干燥装置，包括:干燥室，干燥室具有用于放置待干燥掩膜板的放置空间；设于放置空间内以对待干燥掩膜板相对的两侧表面进行吹气干燥的吹气装置；设于放置空间内、且位于待干燥掩膜板两侧的低温液化装置，低温液化装置用于将悬浮于待干燥掩膜板两侧空间内的汽体液化，以形成对待干燥掩膜板的辅助干燥。该掩膜板干燥装置采用吹气装置对待干燥掩膜板表面的液体进行初步干燥；并采用低温液化装置将悬浮于干燥室内的气体液化，以避免干燥室空气内悬浮的水汽二次附着在待干燥掩膜板上，形成对待干燥掩膜板的辅助干燥，利于提升掩膜板干燥后表面的清洁程度并提升产品品质。

技术领域

本实用新型涉及显示设备技术领域，特别涉及一种掩膜板干燥装置以及制造系统。

背景技术

精细金属掩膜模式，是通过蒸镀方式将有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅背板上，并利用精细金属掩膜板上的图形蒸镀红绿蓝有机物到规定位置上。

目前使用的干燥装置在对掩膜板干燥过程中，掩膜板表面或栅格条间依然会残留水渍，若想增加干燥效果只能采取增加风量和干燥时间的方法，但是增加风量(太大会损伤掩膜)和增加干燥时间(会降低清洗效率)的方法对提升干燥效果的效用较小，在掩膜板表面部分仍会残留清洗液。而长期累积在掩膜板表面的清洗液会变质、结晶甚至形成颗粒物影响产品的品质。

实用新型内容

本实用新型提供了一种掩膜板干燥装置以及制造系统，上述掩膜板干燥装置可增强对待干燥掩膜板的干燥效果，且利于提升待干燥掩膜板干燥后表面的清洁程度并提升产品的品质。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种掩膜板干燥装置，包括:

干燥室，所述干燥室具有用于放置待干燥掩膜板的放置空间；

设于所述放置空间内以对待干燥掩膜板相对的两侧表面进行吹气干燥的吹气装置；

设于所述放置空间内、且位于待干燥掩膜板两侧的低温液化装置，所述低温液化装置用于将悬浮于所述待干燥掩膜板两侧空间内的汽体液化，以形成对所述待干燥掩膜板的辅助干燥。

本实用新型提供了一种掩膜板干燥装置，上述掩膜板干燥装置包括干燥室，干燥室具有用于放置待干燥掩膜板的放置空间，放置空间内设有吹气装置以及低温液化装置。在使用时，将待干燥掩膜板置于干燥室的放置空间内，吹气装置吹出压缩空气，压缩空气待干燥掩膜板相对两侧表面的残留液体汽化，使残留液体脱离待干燥掩膜板表面，以实现对待干燥掩膜板的吹气干燥；而位于待干燥掩膜板两侧的低温液化装置将悬浮于干燥室内的水汽液化，避免干燥室空气内悬浮的水汽二次附着在待干燥掩膜板上，从而达到对待干干燥掩膜板的辅助干燥功能。

本实用新型提供的掩膜板干燥装置采用吹气装置对待干燥掩膜板表面的液体进行初步干燥；并采用低温液化装置将悬浮于干燥室内的气体液化，以避免干燥室空气内悬浮的水汽二次附着在待干燥掩膜板上，形成对待干燥掩膜板的辅助干燥。综上，本实用新型提供的掩膜板干燥装置通过吹气装置与低温液化装置的配合，不仅可缩短对待干燥掩膜板的干燥时间，而且可提升对待干燥掩膜板的干燥效果、提升产品质量。

因此，上述掩膜板干燥装置可增强对待干燥掩膜板的干燥效果，且利于提升待干燥掩膜板干燥后表面的清洁程度并提升产品的品质。

优选地，所述低温液化装置内设有用于干燥液化后水汽的干燥单元。

优选地，所述干燥单元包括干燥剂。

优选地，所述低温液化装置的横截面的面积小于所述待干燥掩膜板的面积，且沿所述待干燥掩膜板的延伸方向，所述低温液化装置在所述横截面所在平面内做循环往复运动。

优选地，还包括用于驱动所述低温液化装置动作的驱动装置。