[实用新型]一种单晶炉及石英多次加料装置有效
申请号: | 201820769928.X | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN208532964U | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 王永超;郭城;吕明;李忠泉 | 申请(专利权)人: | 济南科盛电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人: | 黄晓敏 |
地址: | 250200 山东省济南*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压板 加料装置 石英 单晶炉 外筒体 加料 连接轴 支撑环 锥形筒 筒体 钼杆 单晶硅棒料 多晶硅料 卡料现象 螺纹连接 生产事故 筒体固定 包裹筒 单晶棒 隔离阀 上炉体 下炉体 一次性 螺纹 拉出 拧紧 下端 坩埚 污染 | ||
1.一种单晶炉及石英多次加料装置,包括上炉体,隔离阀,下炉体,坩埚,石英加料装置;所述上炉体与隔离阀上端固定在一起,隔离阀下端与下炉体固定在一起,所述坩埚固定在下炉体内,所述石英加料装置穿过上炉体和隔离阀并深入到下炉体内,其特征在于:所述石英加料装置包括连接轴,钼杆,压板一,压板二,筒体,外筒,支撑环,锥形筒底;所述的压板一放置在压板二上;所述的压板二放置在筒体上;所述的连接轴与钼杆一端通过螺纹连接;所述的钼杆穿过压板一、压板二、筒体、和锥形筒底,下端通过螺纹拧紧固定在锥形筒底内;所述的外筒体包裹筒体,并与筒体固定在一起;所述支撑环固定在外筒体上。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的压板一由对称的两半组成。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的压板二一端开弧形槽。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的压板一和压板二材质为聚四氟乙烯。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的筒体为上下两端都开口的锥形筒结构,上端口为宽端,下端口为窄端,上端口设有突出的边缘。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的筒体材质为高纯度透明石英。
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的外筒体与筒体之间固定连接,所述外筒体外侧固定支撑环;所述的外筒体和支撑环材质为不锈钢。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的锥形筒底窄端朝上,锥形筒底中间从上端到下端依次设置三段由小到大的孔,钼杆由窄端穿过,从宽端深出,通过螺母拧紧在锥形筒底内,锥形筒底与螺母之间固定有弹性圈。
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的弹性圈和螺母材质为钼。
10.根据权利要求1所述的一种单晶炉及石英多次加料装置,其特征在于:所述的石英加料装置的锥形筒底的最低端与坩埚液面的距离为110-120mm。
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