[实用新型]喷涂光阻的系统

权利要求书

1.一种喷涂光阻的系统，其特征在于，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；

所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端，用于向光阻瓶中泵送气体；

所述控制模块用于发出电信号，控制回吸装置的出料与回吸，还用于发出电信号，控制泵装置从存储装置中抽取光阻。

2.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述控制模块还与感应装置连接，所述感应装置用于感应到光阻不足时向控制模块发出电信号。

3.根据权利要求2所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述感应装置为光电门。

4.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述泵送气体为氮气。

5.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第一电磁阀的工作。

6.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，还包括过滤装置，所述过滤装置设置于调压装置内。

7.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第二电磁阀。