[实用新型]喷涂光阻的系统

说明书

一种喷涂光阻的系统，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端，用于向光阻瓶中泵送气体。节省制程与研发试验使用消耗的光阻，提高试验效率节省人力资源，提高安全性能。

技术领域

本实用新型涉及微缩光阻喷涂领域，尤其涉及一种改进的光阻喷涂机台系统。

背景技术

因制程与研发实验所使用的微缩光阻AZ-R200为亲水性光阻，如果在原有的Coater机台使用，Coater机台中的化学物质会对微缩光阻的化学性质产生影响，在Developer机台使用时，无法通过已有的装置进行喷涂光阻，只能通过手动进行喷涂。在手动喷涂微缩光阻时会产生气泡且喷量不能准确把握，导致膜面状况和膜厚会和需求的规格产生偏差，从而使制程与研发的实验增加更多不确定的因素，影响实验的进度。同时也会浪费更多的消耗品，降低生产效率,造成更多人力物力资源的浪费。

鉴于以上缺点，使用可由程序控制喷涂微缩光阻的装置可以很好的控制需要的量进行喷涂，且可以避免因为气泡等其他因素导致膜面状况会不符合标准，也可以解决因为喷量的误差导致膜厚不符合标准需求。同时可以节省消耗品与光阻，提高生产效率减少人力资源，提高安全性能，进而有助于制程与研发实验的顺利进行。与本申请技术最接近的现有技术如下：

1)在Developer机台进行冷板的冷却。

2)在Developer中使用长时间的等待来暂停程序动作进行手动喷涂微缩光阻。

3)喷涂完等待设定的等待时间结束后旋转将光阻甩开然后均匀的涂布在样品表面。

4)涂布完成后再转至热板进行烘干。

5)转至冷板冷却后进行下一道工序。

上述技术存在的问题在于，手动喷涂光阻时会有气泡产生，对膜面状况产生影响，手动喷涂时会对所需要的喷量产生误差，影响膜厚。手动喷涂时会对腔体内的环境造成污染。会造成光阻与消耗品的浪费及生产效率变慢加大人力资源消耗。

发明内容

为此，需要提供一种能够节省制程与研发试验使用消耗的光阻，提高试验效率节省人力资源，提高安全性能的喷涂光阻的操作台。

为实现上述目的，发明人提供了一种喷涂光阻的系统，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；

所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端，用于向光阻瓶中泵送气体；

所述控制模块用于发出电信号，控制回吸装置的出料与回吸，还用于发出电信号，控制泵装置从存储装置中抽取光阻。

具体地，所述控制模块还与感应装置连接，所述感应装置用于感应到光阻不足时向控制模块发出电信号。

具体地，所述感应装置为光电门。

进一步地，所述泵送气体为氮气。

优选地，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第一电磁阀的工作。

具体地，还包括过滤装置，所述过滤装置设置于调压装置内。

可选地，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第二电磁阀。