[实用新型]一种具有可移动坩埚的蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降；还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过；还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。

2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述弹簧机构控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降，使得在蒸镀过程中，容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料的液面高度始终一致。

3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述弹簧机构连接所述内坩埚的底部和所述外坩埚内侧的底部。

4.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，在蒸镀工艺开始前，所述内坩埚内放置有初始量的蒸镀材料，所述内坩埚及所述蒸镀材料压缩所述弹簧机构，所述弹簧机构产生压缩形变；随着蒸镀工艺的进行，所述蒸镀材料逐渐被消耗，所述弹簧机构的压缩形变逐渐变小，以推动所述内坩埚向上移动。

5.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括缓冲机构，所述缓冲机构与所述弹簧机构一起连接所述内坩埚的底部和所述外坩埚内侧的底部，用于减少内坩埚可能出现的振动。

6.如权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述缓冲机构为阻尼器。

7.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述内坩埚及所述外坩埚采用陶瓷、石英、石墨、铬、铬合金、钛或钛合金材质制成。

8.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述外坩埚底部开小孔，用于保持内坩埚及外坩埚之间与蒸镀腔室内不存在压强差。

9.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热单元设置于所述蒸镀材料的液面上方或下方，并且所述加热单元和所述蒸镀材料的液面之间的距离保持不变。

10.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热单元设置于机电机构上，在蒸镀前后所述加热单元的位置可由所述机电机构控制。

11.如权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，所述阻尼器为粘滞阻尼器或无摩擦阻尼器。