[实用新型]一种具有可移动坩埚的蒸镀设备

说明书

本实用新型提供一种蒸镀设备，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降；还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过；还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。实用新型提供的蒸镀设备，可以使得蒸镀材料在玻璃上沉积速率保持一致，还降低了功耗，并且蒸镀材料性质稳定，不易劣化，提高了蒸镀材料的利用率和蒸镀工艺的良率。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀工艺技术领域，特别是涉及一种蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管，简称OLED)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。在基板上形OLED 器件通常采用蒸镀工艺，具体为加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化（或升华）成蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED 器件的功能层。

现有的蒸镀制程中，通常采用电阻丝对内坩埚内的材料进行加热。随着蒸镀的进行，蒸镀材料形成的液面会逐渐下降。这会产生两个不利后果：其一，液面高度的变化会影响到玻璃上的沉积速率；其二，材料变少而加热装置难以实时调整使得局部可能温度过高，材料易出现劣化并影响器件性能。

实用新型内容

本实用新型提供一种蒸镀设备，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚，还包括容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降，还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过，还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。

可选地，所述弹簧机构控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降，使得在蒸镀过程中，容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料的液面高度始终一致。

可选地，所述弹簧机构连接所述内坩埚的底部和所述外坩埚内侧的底部。

可选地，在蒸镀工艺开始前，所述内坩埚内放置有初始量的蒸镀材料，所述内坩埚及所述蒸镀材料压缩所述弹簧机构，所述弹簧机构产生压缩形变；随着蒸镀工艺的进行，所述蒸镀材料逐渐被消耗，所述弹簧机构的压缩形变逐渐变小，以推动所述内坩埚向上移动。

可选地，所述蒸镀设备还包括缓冲机构，所述缓冲机构与所述弹簧机构一起连接所述内坩埚的底部和所述外坩埚内侧的底部，用于减少内坩埚可能出现的振动。

可选地，所述缓冲机构可以为阻尼器，所述阻尼器可以为粘滞阻尼器或无摩擦阻尼器。

可选地，所述内坩埚及所述外坩埚采用陶瓷、石英、石墨、铬、铬合金、钛、钛合金等耐高温、耐磨损材质制成。

可选地，所述外坩埚底部开小孔，用于保持内坩埚及外坩埚之间与蒸镀腔室内不存在压强差。

可选地，所述加热单元设置于所述蒸镀材料的液面上方或下方，并且所述加热单元和所述蒸镀材料的液面之间的距离保持不变。

可选地，所述加热单元设置于机电机构上，在蒸镀前后所述加热单元的位置可由所述机电机构控制。

本实用新型提供的蒸镀设备，使内坩埚可以相对于外坩埚运动，从而保持蒸镀材料液面的高度始终保持一致，可以使得蒸镀材料在玻璃上沉积速率保持一致，提高了蒸镀工艺的良率。另外，由于蒸镀材料的液面始终在同一高度，只需要在该液面处或距离该液面一定距离处设置加热单元，就可以稳定地保持对蒸镀材料的加热效果，降低了功耗，并且蒸镀材料性质稳定，不易劣化，提高了蒸镀材料的利用率和蒸镀工艺的良率。