[实用新型]一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器

权利要求书

1.一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，包括：内管，依次套设于所述内管的外表面的中管、内导体以及外导体；

所述内管为两端开口的中空结构；所述两端开口包括被测样品蒸汽出口以及被测样品入口；

靠近所述被测样品入口的所述中管的一端为第一封闭端，与所述内管密封连接，所述中管的另一端为第一开口端，所述中管与所述内管之间形成第一腔室；靠近所述第一封闭端的所述内导体的一端为第二封闭端，与所述中管密封连接，所述内导体的另一端为第二开口端，所述内导体与所述中管之间形成第二腔室；靠近所述第二封闭端的所述外导体的一端为第三封闭端，与所述内导体密封连接，所述外导体的另一端为第三开口端，所述外导体与所述内导体之间形成第三腔室；

所述第一封闭端与所述第二封闭端之间设有内层炬气体入口；所述第二封闭端与所述第三封闭端之间设有外层炬气体入口；所述外导体的外表面设有微波天线接入口，所述微波天线接入口内设有微波天线，所述微波天线与所述内导体电气连接，形成微波电场；

内层炬气体通过所述内层炬气体入口进入所述第一腔室，在所述微波电场作用下，在所述中管的第一开口端形成内层等离子体；外层炬气体通过所述外层炬气体入口进入所述第二腔室，在所述微波电场作用下，在所述内导体的第二开口端形成外层等离子体；所述内层等离子体与所述外层等离子体形成双重复合层流微波耦合等离子体；所述微波耦合等离子体用于激发被测样品。

2.根据权利要求1所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，所述微波耦合等离子体原子化器还包括：屏蔽气扼流锥；

所述屏蔽气扼流锥设于所述外导体与所述内导体之间；所述屏蔽气扼流锥的下端与所述第三开口端密闭连接，所述屏蔽气扼流锥与所述内导体之间存在环形间隙。

3.根据权利要求1所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，所述微波耦合等离子体原子化器还包括：阻抗匹配锥；

所述阻抗匹配锥为中空结构；所述阻抗匹配锥与所述第三开口端相连接；所述阻抗匹配锥的高度为所述微波天线发出的微波波长的1/4倍。

4.根据权利要求1所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，所述第三腔室内设有屏蔽气隔板，所述屏蔽气隔板将所述第三腔室分成上下两个部分，上部通入屏蔽气，下部形成封闭的腔体，所述屏蔽气隔板设于所述微波天线接入口的上方。

5.根据权利要求4所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，所述外导体的外表面设有屏蔽气入口；

所述屏蔽气入口设于所述屏蔽气隔板的上方。

6.根据权利要求5所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，所述外导体的外表面设有冷却环；

所述冷却环设于所述屏蔽气入口的上方。

7.根据权利要求1所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，所述第三腔室的腔体深度为(2n+1)λ/4；其中n为0、1、2或3，λ为所使用的微波的波长。

8.根据权利要求1所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，微波耦合等离子体原子化器的输入微波功率范围为60～2000瓦，微波频率为915MHz、2450MHz或5.8GHz，特性阻抗范围为50～80欧姆。

9.根据权利要求1所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，所述内层炬气体入口通入氩气或氦气；

所述外层炬气体入口通入氩气或氦气。

10.根据权利要求9所述的微波耦合等离子体原子化器，其特征在于，所述内层炬气体入口所通入气体的种类与所述外层炬气体入口所通入气体的种类相同或不同。