[实用新型]一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器

说明书

本实用新型公开了一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器。所述原子化器包括：内管，依次套设于所述内管的外表面的中管、内导体以及外导体；通过在内管的外表面依次套设中管、内导体以及外导体，形成多个腔体，并在中管外表面设置内层炬气体入口以及在内导体的外表面设置外层炬气体入口，从而形成内层等离子体以及外层等离子体，所述内层等离子体与所述外层等离子体形成双重复合层流微波耦合等离子体。本实用新型所提供的微波耦合等离子体原子化器能够进一步提高原子化效率。

技术领域

本实用新型涉及原子光谱分析仪器领域，特别是涉及一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器。

背景技术

原子荧光光谱仪是原子光谱分析仪器中的一类用途广泛的分析仪器，也是中国具有自主知识产权的分析仪器。在这类仪器中，理想的原子化器不仅要提供待测物原子化的条件，而且要提供一个使荧光效率达到最大(激发态的非辐射去活化最小)的环境。

目前，火焰是原子荧光仪器中最常用的原子化器，成本较低，但是由于火焰温度较低，导致其原子化能力弱，尤其是对难熔元素的原子化效率低，背景信号偏高，影响仪器的测量性能。为了解决这个难题，技术上可以采用高温原子化器，如电感耦合等离子体(Inductive CoupledPlasma，ICP)作为原子化器。与火焰原子化器相比，ICP炬焰温度高，因此ICP炬焰具有更高的蒸发和原子化效率，并且待测物干扰更少；但是，采用ICP炬焰作为原子荧光光谱仪的原子化器时，存在的问题是运行成本太高，导致仪器没有商品化的价值。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器，以解决现有的火焰原子化器测定被测样品的原子化效率低的问题以及ICP运行成本过高的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器，包括：内管，依次套设于所述内管的外表面的中管、内导体以及外导体；

所述内管为两端开口的中空结构；所述两端开口包括被测样品蒸汽出口以及被测样品入口；

靠近所述被测样品入口的所述中管的一端为第一封闭端，与所述内管密封连接，所述中管的另一端为第一开口端，所述中管与所述内管之间形成第一腔室；靠近所述第一封闭端的所述内导体的一端为第二封闭端，与所述中管密封连接，所述内导体的另一端为第二开口端，所述内导体与所述中管之间形成第二腔室；靠近所述第二封闭端的所述外导体的一端为第三封闭端，与所述内导体密封连接，所述外导体的另一端为第三开口端，所述外导体与所述内导体之间形成第三腔室；

所述第一封闭端与所述第二封闭端之间设有内层炬气体入口；所述第二封闭端与所述第三封闭端之间设有外层炬气体入口；所述外导体的外表面设有微波天线接入口，所述微波天线接入口内设有微波天线，所述微波天线与所述内导体电气连接，形成微波电场；

内层炬气体通过所述内层炬气体入口进入所述第一腔室，在所述微波电场作用下，在所述中管的第一开口端形成内层等离子体；外层炬气体通过所述外层炬气体入口进入所述第二腔室，在所述微波电场作用下，在所述内导体的第二开口端形成外层等离子体；所述内层等离子体与所述外层等离子体形成双重复合层流微波耦合等离子体；所述微波耦合等离子体用于激发被测样品。

可选的，所述微波耦合等离子体原子化器还包括：屏蔽气扼流锥；

所述屏蔽气扼流锥设于所述外导体与所述内导体之间；所述屏蔽气扼流锥的下端与所述第三开口端密闭连接，所述屏蔽气扼流锥与所述内导体之间存在环形间隙。

可选的，所述微波耦合等离子体原子化器还包括：阻抗匹配锥；

所述阻抗匹配锥为中空结构；所述阻抗匹配锥与所述第三开口端相连接所述阻抗匹配锥的高度为所述微波天线发出的微波波长的1/4倍。