[实用新型]精密移动平台

权利要求书

1.一种精密移动平台，其特征在于，包括：

底座(100)；

第一导向装置(200)，包括设于所述底座(100)上的第一直线电机(210)和与所述第一直线电机(210)对应的第一气浮导轨(220)，所述第一气浮导轨(220)由所述第一直线电机(210)驱动；

第二导向装置(300)，包括固定连接于所述第一气浮导轨(220)的第二直线电机(310)和与所述第二直线电机(310)对应的第二气浮导轨(320)，所述第二气浮导轨(320)由所述第二直线电机(310)驱动；以及

载物台(400)，固定连接于所述第二气浮导轨(320)。

2.根据权利要求1所述的精密移动平台，其特征在于，所述第一导向装置(200)至少有两组，若干所述第一导向装置(200)平行设置；所述第二直线电机(310)与若干所述第一导向装置(200)的第一气浮导轨(220)均固定连接。

3.根据权利要求1所述的精密移动平台，其特征在于，所述第一导向装置(200)的延伸方向和所述第二导向装置(300)的延伸方向在所述底座(100)的投影相互垂直。

4.根据权利要求1所述的精密移动平台，其特征在于，所述第一气浮导轨(220)和/或所述第二气浮导轨(320)在各自延伸方向的两侧分别设置有缓冲装置(500)。

5.根据权利要求4所述的精密移动平台，其特征在于，所述缓冲装置(500)包括两个缓冲件(510)。

6.根据权利要求5所述的精密移动平台，其特征在于，所述缓冲件(510)为弹簧式缓冲器或气压式缓冲器。

7.根据权利要求1所述的精密移动平台，其特征在于，所述第一气浮导轨(220)的基座与所述底座(100)一体成型。

8.根据权利要求1所述的精密移动平台，其特征在于，所述第一直线电机(210)为无铁芯直线电机。

9.根据权利要求1所述的精密移动平台，其特征在于，所述第二直线电机(310)为无铁芯直线电机。

10.根据权利要求1所述的精密移动平台，其特征在于，所述第一导向装置(200)有两组，两组所述第一导向装置(200)平行设置；所述第二直线电机(310)与两组所述第一导向装置(200)的第一气浮导轨(220)均固定连接；两个所述第一导向装置(200)的中心距离为800mm。