[实用新型]精密移动平台

说明书

本实用新型涉及一种精密移动平台，包括：底座；第一导向装置，包括设于所述底座上的第一直线电机和与所述第一直线电机对应的第一气浮导轨，所述第一气浮导轨由所述第一直线电机驱动；第二导向装置，包括固定连接于所述第一气浮导轨的第二直线电机和与所述第二直线电机对应的第二气浮导轨，所述第二气浮导轨由所述第二直线电机驱动；以及载物台，固定连接于所述第二气浮导轨。精密移动平台在工作时，向第一气浮导轨和第二气浮导轨通入气体，调节两种气浮导轨各自的气膜间隙，在第一直线电机和第二直线电机的驱动下，实现低摩擦直线运动，提高移动平台的响应和运动精度。

技术领域

本实用新型涉及移动平台技术领域，特别是涉及一种精密移动平台。

背景技术

移动平台通常包括载物台和用于驱动载物台沿不同方向移动的导向结构。

例如，一种XY轴移动平台，它是由层叠在一起的既可各自独立运动、又可联动X轴传动机构和Y轴传动机构的组合体。它包括了位于底层的Y轴传动机构和层叠在Y轴传动机构上的X轴传动机构，X轴传动机构上固定有载物台。Y轴传动机构和X轴传动机构分别由Y轴直线电机和X轴直线电机作为驱动源。

然而，由于直线电机的制造误差以及装配误差的综合影响，导致了现有的XY轴移动平台的精度通常较低。因此如何提供一种高精度的移动平台，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的移动平台精度较低问题，提供一种精密移动平台。

一种精密移动平台，包括：

底座；

第一导向装置，包括设于所述底座上的第一直线电机和与所述第一直线电机对应的第一气浮导轨，所述第一气浮导轨由所述第一直线电机驱动；

第二导向装置，包括固定连接于所述第一气浮导轨的第二直线电机和与所述第二直线电机对应的第二气浮导轨，所述第二气浮导轨由所述第二直线电机驱动；以及

载物台，固定连接于所述第二气浮导轨。

在其中一个实施例中，所述第一导向装置至少有两组，若干所述第一导向装置平行设置；所述第二直线电机与所述导向装置的气浮导轨均固定连接。

在其中一个实施例中，所述第一导向装置的延伸方向和所述第二导向装置的延伸方向在所述底座的投影相互垂直。

在其中一个实施例中，所述第一气浮导轨和/或所述第二气浮导轨在各自延伸方向的两侧分别设置有缓冲装置。

在其中一个实施例中，所述缓冲装置包括两个缓冲件。

在其中一个实施例中，所述缓冲件为弹簧式缓冲器或气压式缓冲器。

在其中一个实施例中，所述第一气浮导轨的基座与所述底座一体成型。

在其中一个实施例中，所述第一直线电机为无铁芯直线电机。

在其中一个实施例中，所述第二直线电机为无铁芯直线电机。

在其中一个实施例中，所述第一导向装置有两组，两组所述第一导向装置平行设置；所述第二直线电机与所述导轨装置的气浮导轨均固定连接；两个所述第一导向装置的中心距离为800mm。

上述的精密移动平台在工作时，向第一气浮导轨和第二气浮导轨通入气体，调节两种气浮导轨各自的气膜间隙，在第一直线电机和第二直线电机的驱动下，实现低摩擦直线运动，提高移动平台的响应和运动精度。

附图说明

图1为本实用新型实施例中的一种精密移动平台的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中的一种精密移动平台的俯视图。