[实用新型]一种改进的气相沉积炉有效
| 申请号： | 201820840627.1 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN208562519U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 董家海;侯临泽 | 申请（专利权）人： | 浙江诺华陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 刘计成 |
| 地址： | 322100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积室 炉体 炉膛 进气管 排气管 伸进 沉积 气相沉积炉 穿过 室内 底部炉壁 进气端 炉壁 气相沉积设备 本实用新型 改进 废气净化 加热装置 生产效率 主排气管 保温层 合理化 | ||
1.一种改进的气相沉积炉，其特征在于：它包含炉体(1)、保温层(2)、加热装置(3)、第一炉膛(4)、第二炉膛(5)、第一沉积室(6)、第一进气管(7)、第一排气管(8)、第二沉积室(9)、第二进气管(10)、第二排气管(11)、主排气管(12)，炉体(1)的两侧炉壁设置有保温层(2)，炉体(1)内均匀设置有三组加热装置(3)，三组加热装置(3)将炉体(1)的内腔分为第一炉膛(4)和第二炉膛(5)两个部分，第一炉膛(4)内设置有第一沉积室(6)，第一进气管(7)穿过炉体(1)的底部炉壁并伸进第一沉积室(6)内，第一排气管(8)的进气端穿过炉体(1)的顶部炉壁并伸进第一沉积室(6)内，第一排气管(8)的出气端与主排气管(12)连通，第二炉膛(5)内设置有第二沉积室(9)，第二进气管(10)穿过炉体(1)的底部炉壁并伸进第二沉积室(9)内，第二排气管(11)的进气端穿过炉体(1)的顶部炉壁并伸进第二沉积室(9)内，第二排气管(11)的出气端与主排气管(12)连通。
2.根据权利要求1所述的一种改进的气相沉积炉，其特征在于：所述的第一沉积室(6)、第二沉积室(9)的结构大小完全相同。
3.根据权利要求1所述的一种改进的气相沉积炉，其特征在于：所述的第一炉膛(4)、第一沉积室(6)、第一进气管(7)、第一排气管(8)的中心轴处于同一直线上，所述的第二炉膛(5)、第二沉积室(9)、第二进气管(10)、第二排气管(11)的中心轴处于同一直线上。
4.根据权利要求1所述的一种改进的气相沉积炉，其特征在于：所述的第一进气管(7)和第二进气管(10)上均设置有流量控制阀(13)。
5.根据权利要求1所述的一种改进的气相沉积炉，其特征在于：所述的炉体(1)的外表面上设置有观察窗(14)和控制面板(15)，控制面板(15)设置在观察窗(14)的上方，控制面板(15)上设置有显示屏(15-1)和多个功能键(15-2)。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
