[实用新型]一种激光放大装置有效
申请号: | 201820842074.3 | 申请日: | 2018-06-01 |
公开(公告)号: | CN208189968U | 公开(公告)日: | 2018-12-04 |
发明(设计)人: | 谢斌平;鹿建;王艳会;沈凡;赵嘉峰;欧宏炜 | 申请(专利权)人: | 费勉仪器科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01S3/083 | 分类号: | H01S3/083;H01S3/102 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 201906 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反射腔 激光放大装置 本实用新型 射频电场 传统的 聚焦器 狭缝 反射腔外壁 高品质因子 环形反射腔 激光谐振腔 深紫外激光 多次反射 发光气体 激光反射 能量聚焦 入射激光 紫外区域 激光器 窗口片 高反射 入射角 谐振腔 共振 放大 激光 | ||
1.一种激光放大装置,其特征在于:包括反射腔及射频电场聚焦器,
所述反射腔内充有发光气体;
所述反射腔至少一部分位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内;
所述反射腔设有供激光通过的狭缝。
2.根据权利要求1所述的激光放大装置,其特征在于:所述反射腔为环形反射腔,所述反射腔的外侧设有凸起,所述凸起与所述反射腔连通,且所述射频电场聚焦器与所述凸起相对。
3.根据权利要求2所述的激光放大装置,其特征在于:所述反射腔腔体结构为环形管结构。
4.根据权利要求1所述的激光放大装置,其特征在于:还包括用于密封所述狭缝的窗口片,激光可透过所述窗口片。
5.根据权利要求1所述的激光放大装置,其特征在于:所述狭缝为可调狭缝。
6.根据权利要求5所述的激光放大装置,其特征在于:所述狭缝宽度可在10μm到1mm范围内进行调节。
7.根据权利要求2所述的激光放大装置,其特征在于:所述凸起的数量为一个以上,所述射频电场聚焦器的数量与所述凸起的相同;
所述激光放大装置还包括支架,所述射频电场聚焦器被固定于所述支架上,与所述凸起相对,所述支架环绕放置于所述反射腔外。
8.根据权利要求1所述的激光放大装置,其特征在于:所述反射腔设有进气口及出气口。
9.根据权利要求1所述的激光放大装置,其特征在于:所述反射腔内壁镀有对激光有高反射的金属层。
10.根据权利要求1所述的激光放大装置,其特征在于:所述反射腔的材质为石英。
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