[实用新型]一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备有效
申请号: | 201820847838.8 | 申请日: | 2018-05-31 |
公开(公告)号: | CN208293115U | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 汪成洋;张孝山;陈斌;金珍海;史明香 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;H05B6/36;H05B6/42 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 周宇 |
地址: | 810000 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 双循环 冷却 硅芯拉制孔 低耗能 多芯 硅芯 本实用新型 制作设备 内冷却水道 外冷却水道 第一连接部 出水通道 集中设置 进水通道 冷却效果 线圈冷却 多晶硅 加热部 冷却水 排出 加热 消耗 保证 | ||
1.一种低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,所述低耗能双循环冷却多芯线圈包括高频线圈、外冷却水道以及内冷却水道;所述高频线圈具备第一连接部、第二连接部以及加热部,所述加热部间隔设置有多个硅芯拉制孔,所述外冷却水道环绕所述硅芯拉制孔外侧设置,所述内冷却水道环绕所述硅芯拉制孔内侧设置;所述第一连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的进水通道,所述第二连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的出水通道。
2.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,所述加热部整体设置为具备有中心孔的圆台形,所述硅芯拉制孔围绕所述中心孔等间距排列于所述加热部,相邻所述硅芯拉制孔之间设置有通向所述中心孔的条形间孔;所述第一连接部以及所述第二连接部之间也设置有通向所述中心孔的条形通孔。
3.根据权利要求2所述的低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,沿着靠近所述中心孔的方向所述加热部的一侧形成凹陷面,沿着靠近所述中心孔的方向,所述凹陷面的深度逐渐增加。
4.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,所述硅芯拉制孔的个数为五个、七个或九个。
5.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,所述硅芯拉制孔设置为水滴形。
6.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,所述第一连接部以及所述第二连接部均设置有连接座,所述连接座设置有连接孔。
7.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,所述低耗能双循环冷却多芯线圈还包括地线连接机构,所述地线连接机构连接于所述加热部外边缘。
8.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,所述高频线圈采用铜材料制成。
9.根据权利要求1所述的低耗能双循环冷却多芯线圈,其特征在于,所述高频线圈外侧镀有银膜。
10.一种硅芯制作设备,其特征在于,所述硅芯制作设备包括权利要求1至9任意一项所述的低耗能双循环冷却多芯线圈。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚洲硅业(青海)有限公司,未经亚洲硅业(青海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820847838.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:长晶设备及其位置调整装置
- 下一篇:一种应用于单晶炉的缆索管