[实用新型]一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备有效
申请号: | 201820847838.8 | 申请日: | 2018-05-31 |
公开(公告)号: | CN208293115U | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 汪成洋;张孝山;陈斌;金珍海;史明香 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;H05B6/36;H05B6/42 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 周宇 |
地址: | 810000 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双循环 冷却 硅芯拉制孔 低耗能 多芯 硅芯 本实用新型 制作设备 内冷却水道 外冷却水道 第一连接部 出水通道 集中设置 进水通道 冷却效果 线圈冷却 多晶硅 加热部 冷却水 排出 加热 消耗 保证 | ||
本实用新型涉及多晶硅生产领域,具体涉及一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备。本实用新型提供的低耗能双循环冷却多芯线圈包括外冷却水道以及内冷却水道,在工作过程中,冷却水通过第一连接部的进水通道进入设置在硅芯拉制孔外侧的外冷却水道以及设置在硅芯拉制孔内侧的内冷却水道,并通过出水通道排出,形成双循环冷却对硅芯拉制孔进行冷却,充分保证线圈冷却效果;同时将多个硅芯拉制孔集中设置于加热部,线圈直径总体小,加热硅芯料消耗的功率低,冷却效果好。本实用新型提供的硅芯制作设备,包括上述的低耗能双循环冷却多芯线圈,因此也具有上述的有益效果。
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产领域,具体涉及一种低耗能双循环冷却多芯线圈及硅芯制作设备。
背景技术
随着世界能源危机的日益严重,绿色能源、能源多元化、可再生能源的利用成了我国可持续发展的战略选择,其中太阳能光伏发电成了当前电力科技者研发的热门课题之一。多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,多晶硅纯度越高,电子性能越好,相应光电转换率提高。西门子法多晶硅生长必须依靠硅芯作为生长的载体,在硅芯表面进行化学气相沉积生长多晶硅棒。
目前国内硅芯使用量非常巨大,现有工艺都为五芯或七芯通过给高频线圈通入高频电流,使高频线圈产生电流对硅芯料进行感应加热,加热后的原料棒上端头形成熔化区,然后将籽晶通过拉制孔后插入硅芯料上端的熔化区,然后慢慢提升籽晶,熔化后的原料就会跟随籽晶上升,形成一个新的细圆柱形晶体,这个新的柱形晶体便是硅芯或其他材料晶体的制成品。
实用新型内容
为解决现有技术中的上述问题,本实用新型的目的在于提供一种低耗能双循环冷却多芯线圈。
本实用新型的另一目的在于提供一种具有上述低耗能双循环冷却多芯线圈的硅芯制作设备。
本实用新型的实施例是这样实现的:
一种低耗能双循环冷却多芯线圈,其包括高频线圈、外冷却水道以及内冷却水道;所述高频线圈具备第一连接部、第二连接部以及加热部,所述加热部间隔设置有多个硅芯拉制孔,所述外冷却水道环绕所述硅芯拉制孔外侧设置,所述内冷却水道环绕所述硅芯拉制孔内侧设置;所述第一连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的进水通道,所述第二连接部设置有连通所述内冷却水道以及所述外冷却水道的出水通道。
在本实用新型的一个实施例中:
上述加热部整体设置为具备有中心孔的圆台形,所述硅芯拉制孔围绕所述中心孔等间距排列于所述加热部,相邻所述硅芯拉制孔之间设置有通向所述中心孔的条形间孔;所述第一连接部以及所述第二连接部之间也设置有通向所述中心孔的条形通孔。
在本实用新型的一个实施例中:
沿着靠近上述中心孔的方向所述加热部的一侧形成凹陷面,沿着靠近所述中心孔的方向,所述凹陷面的深度逐渐增加。
在本实用新型的一个实施例中:
上述硅芯拉制孔的个数为五个、七个或九个。
在本实用新型的一个实施例中:
上述硅芯拉制孔设置为水滴形。
在本实用新型的一个实施例中:
上述第一连接部以及所述第二连接部均设置有连接座,所述连接座设置有连接孔。
在本实用新型的一个实施例中:
上述低耗能双循环冷却多芯线圈还包括地线连接机构,所述地线连接机构连接于所述加热部外边缘。
在本实用新型的一个实施例中:
上述高频线圈采用铜材料制成。
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