[实用新型]一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置

权利要求书

1.一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，包括：

固定底座；

升降机构，所述升降机构布置在所述固定底座的上端；

步进马达机构，所述步进马达机构布置在所述升降机构的上端；

旋转机构，所述旋转机构能绕其轴心旋转地布置在所述步进马达机构的上端面；

定位装置，所述定位装置布置在所述旋转机构的左右两侧，所述定位装置与所述旋转机构之间设置有间隙，所述定位装置的下端设置有滑动轨道，所述步进马达机构能沿所述滑动轨道的长度方向移动地套设在所述滑动轨道；

真空吸嘴机构，所述真空吸嘴机构布置在所述旋转机构的上端面；

切边检测激光传感器，所述切边检测激光传感器布置在所述定位装置与所述旋转机构之间的间隙内。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，所述真空吸嘴机构的上端面开设有一吸口，所述真空吸嘴机构内部设置有吸气通道，且所述吸气通道与负压产生装置连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，所述定位装置左右两侧的下端面各设置有一支架，两所述支架通过两平行设置的所述滑动轨道连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，所述步进马达机构的左右两侧侧壁开设有两平行的通孔，两所述通孔套设两所述滑动轨道的侧壁。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，所述切边检测激光传感器靠近左侧所述定位装置的边缘。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，所述定位装置包括气缸、左定位台和右定位台，所述左定位台、所述右定位台与所述气缸连接，所述左定位台和所述右定位台能沿所述支架的长度方向移动地布置在所述支架的上端。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，所述定位装置还包括定位信号发生器和定位信号接收器，所述定位信号发生器布置在所述左定位台的上端面，所述定位信号接收器布置在所述右定位台的上端面。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，其特征在于，所述定位信号发生器和所述定位信号接收器相互正对。