[实用新型]载具的搬运设备

权利要求书

1.一种载具的搬运设备，适用于夹持承载至少一基板的所述载具；其特征在于，所述搬运设备包含：

夹持件，包括至少一用于夹持所述载具的夹持段，该至少一夹持段可以在未夹持所述载具的未夹持状态，以及夹持所述载具的夹持状态之间转换；及

侦测装置，设于该至少一夹持段并包括：

感测元件；及

触发单元，可在未触发所述感测元件的初始位置，及触发所述感测元件使其产生感测讯号的触发位置之间移动，

当该至少一夹持段在所述未夹持状态时，所述触发单元位在所述初始位置，当该至少一夹持段由所述未夹持状态变换至所述夹持状态时，所述触发单元受到所述载具抵顶而由所述初始位置移动至所述触发位置。

2.根据权利要求1所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述侦测装置还包括设于该至少一夹持段并承载所述感测元件的承载单元，所述承载单元为外壳并界定供所述感测元件容置的容置空间，所述触发单元是可移动地连接于所述承载单元，所述触发单元一部分位于所述容置空间内而另一部分外露出所述承载单元外侧。

3.根据权利要求1所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述侦测装置还包括设于该至少一夹持段并承载所述感测元件的承载单元，所述触发单元是可枢转地枢接于所述承载单元并能在所述初始位置及所述触发位置之间转动。

4.根据权利要求1、2或3所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述侦测装置还包括弹性件，所述弹性件对所述触发单元朝所述初始位置方向施压使其位在所述初始位置。

5.根据权利要求3所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述承载单元为外壳并界定供所述感测元件容置的容置空间，所述触发单元包含可转动地枢接于所述承载单元的转轴、固定地连接于所述转轴一端且位于所述承载单元外侧且适用于受所述载具触碰抵顶的摆动杆，及固定地连接于所述转轴另一端且位于所述容置空间内用于触发所述感测元件的触发杆。

6.根据权利要求5所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述转轴的轴向是沿第一横方向延伸，所述摆动杆垂直于所述转轴的轴向并套固于所述转轴上，所述触发杆垂直于所述转轴的轴向并套固于所述转轴上，所述侦测装置还包括设置于所述容置空间内的弹性件，所述弹性件两端分别抵接于所述承载单元及所述触发杆，所述弹性件对所述触发杆朝所述初始位置方向施压，使当该至少一夹持段在未夹持状态时所述触发单元位在所述初始位置。

7.根据权利要求6所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述摆动杆形成邻近顶端的上卡孔，所述触发杆形成邻近底端的下卡孔，所述上卡孔及所述下卡孔皆呈非圆形，该转轴具有一第一轴段及一第二轴段，所述第一轴段及所述第二轴段皆呈非圆柱形，所述第一轴段形状与所述上卡孔形状相对应，所述第一轴段穿设并卡固于所述上卡孔内，所述第二轴段形状与所述下卡孔形状相对应，所述第二轴段穿设并卡固于所述下卡孔内。

8.根据权利要求6所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述承载单元形成连接孔，所述触发杆形成有与所述连接孔位置相对应的孔洞，所述侦测装置还包括穿设于所述孔洞且可移动地连接于所述连接孔的调整件，所述调整件可受控地沿垂直于所述第一横方向的第二横方向移动并带动所述触发杆转动，以调整在所述初始位置时所述触发杆与所述感测元件之间的间距。

9.根据权利要求8所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述连接孔为螺孔，所述调整件为螺接于所述螺孔的螺丝，所述调整件具有靠抵于所述触发杆相反于所述连接孔一侧的头部。

10.根据权利要求5至9其中任一权利要求所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述侦测装置还包括连接于所述承载单元的供气单元，所述供气单元用于供应气体至所述容置空间内使其内部压力大于外部环境。

11.根据权利要求1所述的载具的搬运设备，其特征在于：所述感测元件为电导感测件，所述触发单元具有与所述电导感测件相配合的电导触发体。