[实用新型]载具的搬运设备

说明书

一种载具的搬运设备，包含夹持件，以及侦测装置。所述夹持件包括至少一用于夹持所述载具的夹持段，该至少一夹持段可以在未夹持所述载具的未夹持状态，以及夹持所述载具的夹持状态之间转换。所述侦测装置设于该至少一夹持段并包括感测元件，以及触发单元。所述触发单元可在未触发所述感测元件的初始位置，及触发所述感测元件使其产生感测讯号的触发位置之间运动。当该至少一夹持段在所述未夹持状态时，所述触发单元位在所述初始位置，当该至少一夹持段由所述未夹持状态变换至所述夹持状态时，所述触发单元受到所述载具抵顶而由所述初始位置运动至所述触发位置。

技术领域

本实用新型涉及一种载具的搬运设备，特别是涉及一种具有用于侦测是否夹持载具的侦测装置的载具的搬运设备。

背景技术

现有载具的搬运设备通常具有一用于夹持承载基板之载具的夹持件，通过一侦测元件设置在搬运设备的夹持件搬运载具的移动路径上，使得侦测元件能侦测该载具是否被该夹持件夹持。侦测元件所产生的光线是沿着一与移动路径相交的光线路径移动，通过光线是否被沿着移动路径移动的载具遮断或反射来判断载具是否被该夹持件所夹持。然而，此种侦测元件的侦测方式是仅能在单一光线路径上侦测载具，因此，侦测元件所产生的光线只要是被通过该光线路径的例如微尘等其他非载具的外物一遮断就会随即产生侦测讯号，进而造成该侦测元件误判断夹持件已夹持载具的情形。再者，由于侦测元件是曝露于制程环境中，因此，侦测元件易受制程环境中的微尘或因气体使光线折射的干扰而产生误判断的侦测讯号。另外，搬运设备的材质可能具有光反射效果，当搬运设备所反射的其他光源被侦测元件接收时，将造成侦测元件误动作。

发明内容

本实用新型之目的在于提供一种能够克服先前技术的至少一个缺点的载具的搬运设备，其能侦测是否夹持载具。

本实用新型的载具的搬运设备在一些实施态样中，适用于夹持承载至少一基板的所述载具，所述搬运设备包含夹持件，以及侦测装置。所述夹持件包括至少一用于夹持所述载具的夹持段，该至少一夹持段可以在未夹持所述载具的未夹持状态，以及夹持所述载具的夹持状态之间转换。所述侦测装置设于该至少一夹持段并包括感测元件，以及触发单元。所述触发单元可在未触发所述感测元件的初始位置，及触发所述感测元件使其产生感测讯号的触发位置之间移动。当该至少一夹持段在所述未夹持状态时，所述触发单元位在所述初始位置，当该至少一夹持段由所述未夹持状态变换至所述夹持状态时，所述触发单元受到所述载具抵顶而由所述初始位置移动至所述触发位置。

在一些实施态样中，所述侦测装置还包括设于该至少一夹持段并承载所述感测元件的承载单元，所述承载单元为外壳并界定供所述感测元件容置的容置空间，所述触发单元是可移动地连接于所述承载单元，所述触发单元一部分位于所述容置空间内而另一部分外露出所述承载单元外侧。

在一些实施态样中，所述侦测装置还包括设于该至少一夹持段并承载所述感测元件的承载单元，所述触发单元是可枢转地枢接于所述承载单元并能在所述初始位置及所述触发位置之间转动。

在一些实施态样中，所述侦测装置还包括弹性件，所述弹性件对所述触发单元朝所述初始位置方向施压使其位在所述初始位置。

在一些实施态样中，所述承载单元为外壳并界定供所述感测元件容置的容置空间，所述触发单元包含可转动地枢接于所述承载单元的转轴、固定地连接于所述转轴一端且位于所述承载单元外侧且适用于受所述载具触碰抵顶的摆动杆，及固定地连接于所述转轴另一端且位于所述容置空间内用于触发所述感测元件的触发杆。

在一些实施态样中，所述转轴的轴向是沿第一横方向延伸，所述摆动杆垂直于所述转轴的轴向并套固于所述转轴上，所述触发杆垂直于所述转轴的轴向并套固于所述转轴上，所述侦测装置还包括设置于所述容置空间内的弹性件，所述弹性件两端分别抵接于所述承载单元及所述触发杆，所述弹性件对所述触发杆朝所述初始位置方向施压，使当该至少一夹持段在未夹持状态时所述触发单元位在所述初始位置。