[实用新型]一种多设备间配合偏差的检测系统

权利要求书

1.一种多设备间配合偏差的检测系统，其特征在于，包括安装于晶圆工作台的激光发射器(3)和安装于机器人夹持端的误差显示器(4)，所述误差显示器(4)上设置有基准点，所述基准点与所述机器人夹持端的中心重合。

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述误差显示器(4)包括安装架(41)和显示屏(42)，所述基准点设置于所述显示屏(42)上，且所述显示屏(42)镶嵌于所述安装架(41)的竖板中心处，所述安装架(41)的横板与所述机器人夹持端连接。

3.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述显示屏(42)为圆形玻璃板。

4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述显示屏(42)上设置有预设量程且相垂直的刻度线。

5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述刻度线的最小单位为1mm。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的检测系统，其特征在于，还包括用于安装所述激光发射器(3)的支撑台(2)，以使所述激光发射器(3)的光束平行于所述晶圆工作台的平面。

7.根据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，还包括用于安装所述支撑台(2)的卡位底座(1)，所述支撑台(2)设置于所述卡位底座(1)中心处。

8.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述卡位底座(1)周向上设置有至少两个用于与所述晶圆工作台卡接的卡槽。