[实用新型]宽度可调式移动机构

权利要求书

1.一种宽度可调式移动机构，能配合晶圆生产设备应用，其特征在于：

所述宽度可调式移动机构(100)，包括有一座体(1)，其具有一侧相互交接的一垂直部(11)、及一水平部(12)；

一导轨(2)，其设于该水平部(12)表面边缘上；

一第一托臂组(3)，其设于该导轨(2)顶侧面一端；

一第二托臂组(4)，其设置于该导轨(2)顶侧面另一端，能配合该第一托臂组(3)，一同吸附定位住晶圆(10)，以稳定托载该晶圆(10)；

一被动轮(5)，其设于该垂直部(11)前侧面一端；

一主动轮(6)，其设置于该垂直部(11)前侧面另一端；

一挠性带体(7)，其呈环状绕设于该被动轮(5)和该主动轮(6)外，并形成一顶侧区段(71)与一底侧区段(72)，且该顶侧区段(71)与该第一托臂组(3)连接，而该底侧区段(72)与该第二托臂组(4)连接，以构成连动关系；以及

一驱动装置(8)，其与该主动轮(6)轴接，能供带动该挠性带体(7)，使该第一托臂组(3)与该第二托臂组(4)同步连动，往相反方向移动用。

2.根据权利要求1所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述第一托臂组(3)，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨(2)配合的滑座(A)、一设于该滑座(A)顶端的支撑块(B)、一设于该支撑块(B)顶端并能与该挠性带体(7)配合的连接板(C)、一设于该连接板(C)顶端的气座(D)、一片一端设于该气座(D)顶端的托臂板(E)、以及一设于该气座(D)与该托臂板(E)间的密封圈(F)；

所述第二托臂组(4)，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨(2)配合的滑座(A)、一设于该滑座(A)顶端并能与该挠性带体(7)配合的连接板(C)、一设于该连接板(C)顶端的支撑块(B)、一设于该连接板(C)顶端的气座(D)、一片一端设于该气座(D)顶端的托臂板(E)、以及一设于该气座(D)与该托臂板(E)间的密封圈(F)。

3.根据权利要求2所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述挠性带体(7)，其是为一皮带或链条结构。

4.根据权利要求3所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述连接板(C)，其与该挠性带体(7)连接处，还设有一能供容纳该挠性带体(7)对应部分的沟槽(C1)，而该沟槽(C1)的顶端开口处，还设有一能与该挠性带体(7)配合的定位片体(C2)；

所述气座(D)，其还设有一设于该气座(D)顶端且对应于该密封圈(F)的气孔(D1)、一设于该气座(D)内且能让该气孔(D1)与外部真空泵连通的通气道(D2)、以及一与该托臂板(E)一端配合的定位凹槽(D3)；

所述托臂板(E)，其还包括有一由固定端往外呈由宽变窄状设置的托臂本体(E1)、及一嵌设于该托臂本体(E1)底端面的封闭片体(E2)，该托臂本体(E1)自由端设有一吸气定位孔(E11)，而该托臂本体(E1)内设有一由该吸气定位孔(E11)处，延伸设置至对应于该气孔(D1)处的通气槽(E12)，另该托臂本体(E1)与该封闭片体(E2)嵌合处，还凹设有一与该通气槽(E12)连通的嵌槽(E121)，该封闭片体(E2)对应于该气孔(D1)处，还设有一通道孔(E21)。

5.根据权利要求4所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述托臂板(E)，其于该吸气定位孔(E11)处，还开设有一与该吸气定位孔(E11)连通的定位吸气槽(E111)。

6.根据权利要求5所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述托臂板(E)，其于对应于该定位吸气槽(E111)处，还往上凸设形成有一支撑台座(E13)。

7.根据权利要求6所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述座体(1)，其还包括有一极限感测部(13)，该极限感测部(13)设于该垂直部(11)，对应于该第一托臂组(3)的后侧面一端；

所述第一托臂组(3)，其还包括有一触动片(G)，该触动片(G)设于该连接板(C)对应于该极限感测部(13)的一侧处，能与该极限感测部(13)配合。

8.根据权利要求7所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述座体(1)，其还包括有一中央挡块(14)、一第一挡块(15)、及一第二挡块(16)，该中央挡块(14)设于该水平部(12)边缘中央，该第一挡块(15)设于该水平部(12)边缘邻近于该第一托臂组(3)的一端，该第二挡块(16)设于该水平部(12)边缘邻近于该第二托臂组(4)的一端。