[实用新型]具有缓存区的物料传送设备及其物料传送系统

说明书

本实用新型公开了具有缓存区的物料传送设备及其物料传送系统，解决了常见对原机台设备进行工业4.0改造时,改造成本较高的问题，其技术方案要点是，包括：机台；设于所述机台上的传送装置，所述机台上设有至少两个用于暂存产品的缓存区，所述缓存区设置于所述机台的一侧或两侧，所述传送装置可延伸出所述机台至少一个缓存区的长度；以及，滑动式设置于所述传送装置上、受所述传送装置驱动以输送产品的机械手装置，达到改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本的目的。

技术领域

本实用新型涉及自动化设备技术领域，特别涉及具有缓存区的物料传送设备及其物料传送系统。

背景技术

随着半导体集成电路的飞速发展,在半导体设备行业进行工业4.0改造势在必行。进行改造时,改造点主要集中体现在上下料的位置,但由于半导体设备行业的特殊性,在对原机台设备进行工业4.0改造时,要求改造成本低,运动可靠,运行高效,且组线灵活,现有的改造方案成本较高，因此需要提供一种解决半导体设备单机组线所面临问题的优选方案。

实用新型内容

本实用新型的目的一是提供一种具有缓存区的物料传送设备，具有单个机台的改造成本低，在对多个改造后的机台进行组线较为灵活的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种具有缓存区的物料传送设备，包括：机台；设于所述机台上的传送装置，所述机台上设有至少两个用于暂存产品的缓存区，所述缓存区设置于所述机台靠近传送装置的一侧或两侧，所述传送装置可延伸出所述机台至少一个缓存区的长度；以及，滑动式设置于所述传送装置上、受所述传送装置驱动以输送产品的机械手装置。

通过采用上述技术方案，在进行单个物料传送设备的改造时，机台上设置至少两个用于暂存产品的缓存区，当机械手装置在传送装置上滑动将产品输送至缓存区时，因每个机台的传送装置延伸出机台自身至少一个缓存区的长度，所以相邻机台的机械手装置可到达前一机台的缓存区，从而实现将一机台上缓存区的产品输送至相邻机台上，在不对原有机台进行过大改造的情况下，实现多个机台的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本。

本实用新型的进一步设置，所述传送装置包括：设于所述机台上、沿所述机台长度方向设置、供所述机械手装置滑动的轨道；以及，设于所述机台上、用于驱动所述机械手装置在所述轨道上滑动的输送机构。

通过采用上述技术方案，输送机构可驱动机械手装置在轨道上移动，实现产品在机台上的输送及向相邻机台输送的工作。

本实用新型的进一步设置，所述输送机构包括：设于所述轨道上的主动轮及从动轮；用于驱动主动轮转动的电机；以及，套设于所述主动轮及从动轮上与机械手装置固定的传送带。

通过采用上述技术方案，电机驱动主动轮转动，从而带动传送带移动，带动机械手装置移动以实现产品的输送。

本实用新型的进一步设置，所述机械手装置包括：滑动式设置于所述轨道上、与所述传送带固定的滑动座；设于滑动座靠近缓存区一端的架体；设于所述滑动座、用于驱动架体升降的驱动件；以及，多个设于所述架体朝向缓存区一面的吸盘。

通过采用上述技术方案，传送带移动带动滑动座移动，滑动座在轨道上滑动至缓存区时，驱动件驱动架体升降，使吸盘将缓存区上的产品吸合，从而实现产品的转移。

本实用新型的进一步设置，所述机械手装置包括：滑动式设置于所述轨道上、与所述传送带固定的副轨道；滑动式设置于所述副轨道上的滑动座；设于所述副轨道上、用于驱动所述滑动座在所述副轨道上滑动的副输送机构；设于滑动座靠近缓存区一端的架体；设于所述滑动座、用于驱动架体升降的驱动件；以及，多个设于所述架体朝向缓存区一面的吸盘。