[实用新型]一种分子泵小车

权利要求书

1.一种分子泵小车，其特征是：包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与所述外壳体的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括第一板体、第二板体和圆柱体形的防护网，所述第一板体与所述第二板体平行，所述第一板体通过所述防护网与所述第二板体固定连接，所述第二板体的中部设有与所述分子泵吸气口连通的出气通孔，所述第一板体靠近所述第二板体的一侧设有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板均为体形且高度相等，所述第一挡板设于所述第二挡板内，所述第二板体靠近所述第一板体的一侧设有圆柱体形的第三挡板，所述第三挡板位于所述第一挡板与所述第二挡板之间，所述第三挡板的高度与所述第一挡板的高度之和大于所述第一板体与所述第二板体之间的距离，所述第一板体靠近所述第二板体的一侧设有微粒收集机构。

2.根据权利要求1所述的分子泵小车，其特征是：所述第一挡板的中心轴线、所述第二挡板的中心轴线和所述第三挡板的中心轴线均共线。

3.根据权利要求1所述的分子泵小车，其特征是：所述第二板体设有法兰，所述进气机构通过所述法兰与所述分子泵固定连接。

4.根据权利要求1所述的分子泵小车，其特征是：所述微粒收集机构包括外壳体和第一棉线网，所述外壳体包括内侧壁、外侧壁和环形的底板，所述第一棉线网固定设于所述内侧壁与所述外侧壁之间且远离所述底板。

5.根据权利要求4所述的分子泵小车，其特征是：所述第一棉线网与所述底板之间设有多个环形的集尘机构，所述集尘机构的横截面为圆形，所述集尘机构采用金属网制成，所述集尘机构的外周壁设有第二棉线网。