[实用新型]一种分子泵小车

说明书

本实用新型公开了一种分子泵小车，包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与所述外壳体的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口。从前级泵排出的气体先进入外壳体内，然后气体穿过防护网经S形进气道后再进入分子泵内，微粒进入分子泵后会被高速转动的叶片撞击从分子泵飞出撞到微粒收集机构上，通过微粒收集机构清除蓄积的微粒，同时不会降低气体的流量。

技术领域

本实用新型属于分子泵技术领域，具体地说，涉及一种分子泵小车。

背景技术

半导体蚀刻等生产工艺需要在真空室下进行，而分子泵是构建真空室的核心部件。许多工艺生产过程中会在真空室内产生大量的微粒，这些微粒随气体被吸入分子泵时，部分微粒会被高速旋转的叶片反弹，这导致微粒蓄积在分子泵的吸气口上游，容易引发安全事故。常规解决办法是在分子泵的进气前端设置过滤装置，但过滤装置会极大地降低进气速度，极大地影响前级泵的吸气效率。

此外，常规分子泵都是固定设置，用户若想移动设备比较麻烦，需对各个部件逐一拆卸再重新安装，耗时费力；反复拆装对波纹管及阀门等管件的密封性也有一定的损伤，降低设备的性能参数。

实用新型内容

针对现有技术中上述的不足，本实用新型提供一种分子泵小车，在传统分子泵的吸气口设置微粒收集机构，通过微粒收集机构对蓄积的微粒进行收集，并将分子泵设在可移动的小车上，便于移动。

为了达到上述目的，本实用新型采用的解决方案是：一种分子泵小车，包括车体、外壳体、前级泵、进气机构和分子泵，所述外壳体、所述前级泵和所述分子泵均固定设于所述车体，所述外壳体为密封的箱体结构，所述分子泵设于所述外壳体内，所述分子泵的出气管伸出所述外壳体，所述前级泵的出气端与所述外壳体的进气端连通，所述进气机构设于所述分子泵的吸气口，所述进气机构包括第一板体、第二板体和圆柱体形的防护网，所述第一板体与所述第二板体平行，所述第一板体通过所述防护网与所述第二板体固定连接，所述第二板体的中部设有与所述分子泵吸气口连通的出气通孔，所述第一板体靠近所述第二板体的一侧设有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板均为体形且高度相等，所述第一挡板设于所述第二挡板内，所述第二板体靠近所述第一板体的一侧设有圆柱体形的第三挡板，所述第三挡板位于所述第一挡板与所述第二挡板之间，所述第三挡板的高度与所述第一挡板的高度之和大于所述第一板体与所述第二板体之间的距离，所述第一板体靠近所述第二板体的一侧设有微粒收集机构。

进一步地，所述第一挡板的中心轴线、所述第二挡板的中心轴线和所述第三挡板的中心轴线均共线。

进一步地，所述第二板体设有法兰，所述进气机构通过所述法兰与所述分子泵固定连接。

进一步地，所述微粒收集机构包括外壳体和第一棉线网，所述外壳体包括内侧壁、外侧壁和环形的底板，所述第一棉线网固定设于所述内侧壁与所述外侧壁之间且远离所述底板。

进一步地，所述第一棉线网与所述底板之间设有多个环形的集尘机构，所述集尘机构的横截面为圆形，所述集尘机构采用金属网制成，所述集尘机构的外周壁设有第二棉线网。

本实用新型的有益效果是：

(1)从前级泵排出的气体先进入外壳体内，然后气体穿过防护网经S形进气道后再进入分子泵内，微粒进入分子泵后会被高速转动的叶片撞击从分子泵飞出撞到微粒收集机构上，通过微粒收集机构清除蓄积的微粒，同时不会降低气体的流量；

(2)气体从进气机构侧壁的360度进入，进气速度快，通过调整各个挡板之间间距，调整各个挡板的高度可以调整进气机构的进气速度，设备具有很好的适应性；

(3)将前级泵和分子泵安装在可移动的小车上，便于移动，减少对各个部件的反复拆卸损坏波纹管、阀门等部件；