[实用新型]一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀有效
| 申请号： | 201820899192.8 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN208382820U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 吴文州 | 申请（专利权）人： | 永嘉利为新能源有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00 |
| 代理公司： | 宁波浙成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33268 | 代理人： | 王明超 |
| 地址： | 325102 浙江省温州市永嘉县东*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 储气空腔 进气管 吹干 风槽 风刀 硅片表面 刀身 多根进气管 内部空腔 升压装置 充气 刻蚀 气压 冲洗 连通 出气过程 排列方向 气压不足 纵向截面 升压 进气 压出 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔(1)、多根进气管(2)、刀身(4)和充气升压装置(3)，其特征在于：所述的进气管(2)沿长度方向排列分布于储气空腔(1)顶部，进气管(2)与储气空腔(1)内部空腔连通，所述的刀身(4)设于储气空腔(1)底部，刀身(4)内沿进气管(2)排列方向开有一条或多条相间的风槽(5)，所述的风槽(5)与储气空腔(1)内部空腔连通，所述的充气升压装置(3)将升压后的气体经进气管(2)充入储气空腔(1)后，经刀身(4)内的风槽(5)压出风槽(5)外吹干硅片表面。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，其特征在于：所述的进气管(2)个数为三个。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，其特征在于：所述的储气空腔(1)顶部设有对应刀身(4)内风槽(5)长度的进气槽。
4.根据权利要求3所述的一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，其特征在于：所述的进气槽的宽度大于风槽(5)的宽度。
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