[实用新型]一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀

说明书

一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔、多根进气管、刀身和充气升压装置，所述的进气管沿长度方向设于储气空腔顶部，进气管与储气空腔内部空腔连通，所述的刀身设于储气空腔底部，刀身内沿进气管排列方向开有一条或多条相间的风槽，所述的风槽与储气空腔内部空腔连通，所述的充气升压装置将升压后的气体经进气管充入储气空腔后，经刀身内的风槽压出风槽外吹干硅片表面。风槽的设计能均匀地吹干带有水分的硅片表面，多根进气管排列的设计使整体风刀在进气和出气过程中，不会出现现有技术的风刀中进气管附近的气压较大，远离进气管的部分气压不足的问题，整体风刀的气流和气压更为均匀，吹干效果更好。

技术领域

本实用新型涉及一种风刀，特别是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀。

背景技术

风刀是现代工业加工中使用较为广泛的加工刀具，因其噪音少，节能环保，对环境污染少的优点在越来越多的加工中发挥不可替代的作用。在硅片制绒技术中，聚晶制绒机、刻蚀机的酸碱槽内的药液反应后，需要清洗硅片表面残留的药液，在冲洗后硅片表面仍会残留大量水滴，而现有的风刀为单气孔风刀，风刀在吹干分水的过程中距离气孔较远的位置吹干效果差，这就造成整体吹干过程中需要进行多次不同位置的吹干，整体吹干工序较为繁琐复杂，吹干工序的整体成本较高，后期的维护维修也较为麻烦。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单合理、硅片表面吹干效果好的用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔、多根进气管、刀身和充气升压装置，所述的进气管沿长度方向设于储气空腔顶部，进气管与储气空腔内部空腔连通，所述的刀身设于储气空腔底部，刀身内沿进气管排列方向开有一条或多条相间的风槽，所述的风槽与储气空腔内部空腔连通，所述的充气升压装置将升压后的气体经进气管充入储气空腔后，经刀身内的风槽压出风槽外吹干硅片表面。

进一步的，所述的进气管个数为三个。

进一步的，所述的储气空腔顶部设有对应刀身内风槽长度的进气槽。

进一步的，所述的进气槽的宽度大于风槽的宽度。

本实用新型的有益效果是：相较于现有的风刀技术，本实用新型通过将现有技术的风刀中使用较多的气孔改进成风槽，使原本直接从气孔中喷出的气流均匀地从风槽中喷出，均匀地吹干带有水分的硅片表面，避免气孔吹干的过程中出现的吹干不均匀的问题，多根进气管排列的设计使整体风刀在进气和出气过程中，不会出现现有技术的风刀中进气管附近的气压较大，远离进气管的部分气压不足的问题，整体风刀的气流和气压更为均匀，吹干效果更好，在生产上提升吹干这一工序的工作效率，另外，风槽的设计使整体风刀一次即可吹干水分，提升了整体风刀吹干的处理效率，降低生产过程中吹干这一工序的生产成本，提升整体生产的生产效率。

附图说明

图1是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀的整体结构示意图。

图2是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀拆除充气升压装置后的截面示意图。

图3是一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀拆除充气升压装置后的俯视图。

附图中编号表示的零部件名称如下：1、储气空腔；2、进气管；3、充气升压装置；4、刀身；5、风槽。

具体实施方式

为了使得本实用新型实现的技术手段，创新特征与功能易于了解，下面将进一步阐述本实用新型。