[实用新型]一种蒸发镀膜装置有效
| 申请号： | 201820903834.7 | 申请日： | 2018-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN207987320U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈腾;王雪戈 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 邢惠童 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀 蒸发镀膜装置 排气件 本实用新型 物体表面 出气孔 开度 腔体 蒸汽 加热器 均匀设置 真空蒸镀 顶壁 膜层 排量 连通 喷射 体内 节约 | ||
1.一种蒸发镀膜装置，包括：腔体(1)、设置在所述腔体(1)内的加热器，所述腔体(1)的顶壁上设置有多个出气孔(101)；
其特征在于，所述装置还包括：与所述出气孔(101)连通的排气件(2)，所述排气件(2)沿待蒸镀物体(X)的长度方向均匀设置有多个与所述待蒸镀物体(X)相对的蒸镀孔(201)；
设置在所述排气件(2)上的多个调节件(3)，所述调节件(3)用于调节所述蒸镀孔(201)的开度。
2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述调节件(3)包括：顺次连接的调整旋钮(301)、活动件(302)和遮挡件(303)；
所述调整旋钮(301)用于驱动所述活动件(302)作往复运动；
所述遮挡件(303)用于在所述活动件(302)的带动下改变对所述蒸镀孔(201)的遮挡面积。
3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述装置还包括：膜厚测试仪，用于获取所述待蒸镀物体(X)上的膜层厚度信息；
控制系统，与所述膜厚测试仪电连接，用于根据所述膜层厚度信息，控制所述蒸镀孔(201)的开度，使所述待蒸镀物体(X)上的膜层厚度保持一致。
4.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述调节件(3)为挡板结构，可转动地设置在所述排气件(2)上，用于改变对所述蒸镀孔(201)的遮挡面积。
5.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述排气件(2)包括：管式本体；
所述管式本体的顶壁上设置有多个所述蒸镀孔(201)，底壁上设置有多个与所述出气孔(101)连通的对接孔。
6.根据权利要求5所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述出气孔(101)的上端设置有凸块，所述凸块可拆卸地设置在所述对接孔内。
7.根据权利要求6所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述凸块与所述对接孔之间设置有密封圈。
8.根据权利要求5所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述排气件(2)固定在所述腔体(1)上。
9.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述排气件(2)的长度大于所述腔体(1)和所述待蒸镀物体(X)的长度。
10.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述蒸镀孔(201)的孔径调节范围为0-10cm。
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