[实用新型]一种端面处理装置

权利要求书

1.一种端面处理装置，包括按样品处理工艺依次连通的进样腔、预处理腔、解理腔和钝化腔，以及用于传送所述样品的第一传送机构、第二传送机构和第三传送机构；所述第一传送机构设置于所述进样腔与所述预处理腔中；所述第二传送机构设置于所述预处理腔与所述解理腔中；所述第三传送机构设置于所述解理腔与所述钝化腔中；其特征在于：

所述进样腔、所述预处理腔和所述第一传送机构均设置有两个，所述第二传送机构设置于两个所述预处理腔与所述解理腔中；

两个所述进样腔结构相同，均包括腔体、样品台和进样加热装置；

所述腔体上开设有进样通口，所述进样通口上安装有腔门，所述样品台和所述进样加热装置均设置于所述腔体中。

2.如权利要求1所述的端面处理装置，其特征在于：所述端面处理装置还包括4套抽真空装置，4套抽真空装置中：

1套所述抽真空装置分别连接两个所述进样腔；

1套所述抽真空装置分别连接两个所述预处理腔；

剩余2套所述抽真空装置分别与所述解理腔和所述钝化腔一一对应连接。

3.如权利要求2所述的端面处理装置，其特征在于：连通所述进样腔与所述预处理腔的管路上，连通预处理腔与所述解理腔的管路上，以及连通所述解理腔与所述钝化腔的管路上均安装有阀门。

4.如权利要求3所述的端面处理装置，其特征在于：所述预处理腔、所述解理腔和所述钝化腔的真空度均高于所述进样腔的最大真空度。

5.如权利要求2所述的端面处理装置，其特征在于：所述腔体上还开设有抽真空通口，所述抽真空通口上安装有抽真空管道，所述抽真空管道连通至所述进样腔对应的所述抽真空装置。

6.如权利要求5所述的端面处理装置，其特征在于：所述腔体上还开设有回压通口，所述回压通口上安装有回压管道，所述回压管道连通至一供气装置。

7.如权利要求2所述的端面处理装置，其特征在于：两个所述进样腔之间相互连通，连通两个所述进样腔的管路上安装有阀门；

两个所述预处理腔之间相互连通，连通两个所述预处理腔的管路上安装有阀门。

8.如权利要求1至7中任一项所述的端面处理装置，其特征在于：所述进样加热装置具体为电加热板。

9.如权利要求8所述的端面处理装置，其特征在于：所述电加热板的形状与进样腔的外形相匹配。

10.如权利要求1或9所述的端面处理装置，其特征在于：所述进样加热装置设置于所述腔体中，并且远离所述进样通口。