[实用新型]一种固晶臂控制机构有效
申请号: | 201820921872.5 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN208385360U | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 陈勇伶 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽谷科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 杨宏;刘文求 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶臂 纵向移动组件 转动组件 驱动 抓取 本实用新型 刚性连接 机械结构 快速稳定 螺丝紧固 完成晶片 纵向运动 联接轴 固晶 晶片 装配 释放 | ||
1.一种固晶臂控制机构,其特征在于,包括固晶臂组件、纵向移动组件及转动组件,所述纵向移动组件与固晶臂组件通过螺丝锁紧连接,用于带动固晶臂组件纵向移动;所述纵向移动组件中通过偏心轴与连杆来实现纵向往复移动,所述偏心轴通过两对角轴承固定;所述转动组件与纵向移动组件通过联接轴刚性连接,用于带动固晶臂组件往返旋转运动。
2.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构,其特征在于,所述转动组件包括:旋转驱动源、旋转轴、夹紧轴、固晶臂固定座、联接轴、交叉导轨及旋转感应器片;所述驱动源与旋转轴通过夹紧轴联接;所述旋转轴与固晶臂固定座通过一副交叉导轨联接;固晶臂固定座通过交叉导轨与转轴纵向运动;所述联接轴通过螺丝固定在固晶臂固定座;所述旋转轴外缘固定连接有旋转感应器片,所述转动组件一侧设置有旋转轴光电感应器,所述旋转感应器片的高度与所述旋转轴光电感应器的高度相适配。
3.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构,其特征在于,所述固晶臂组件包括:晶臂座、固晶臂、弹片、压紧块、调节弹簧;所述晶臂座与固晶臂通过弹片连接,弹片一端用压紧块与固晶臂连接,弹片另一端用压紧块与晶臂座联接;所述晶臂座中部设有固晶臂收容槽;所述固晶臂通过弹片与晶臂座联接后,固晶臂末端插入晶臂座收容槽内;所述固晶臂末端设置有臂力调节螺栓,所述晶臂座收容槽内设置有固晶臂水平调节螺丝。
4.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构,其特征在于,所述纵向移动组件包括基座、纵向移动驱动源、联轴器、偏心轴、连杆、连杆轴、滑块座、联接板、纵向移动光电感应器片、直线导轨及滑块;所述驱动源与基座螺丝锁紧联接;所述驱动源通过联轴器与偏心轴联接;所述偏心轴通过两组角轴承固定在基座上;所述连杆两端设有两组球轴承,一端与偏心轴联接,另一端与连杆轴联接;所述直线导轨固定在基座上,所述滑块分别与滑块座及直线导轨联接,所述连杆轴及联接板与滑块座联接。
5.根据权利要求4所述的固晶臂控制机构,其特征在于,所述纵向移动组件还包括:纵向移动光电感应器片及光电感应器,所述纵向移动光电感应器片固定在滑块座上,所述光电感应器固定在基座上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造