[实用新型]一种固晶臂控制机构有效

专利信息
申请号: 201820921872.5 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN208385360U 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 陈勇伶 申请(专利权)人: 深圳市矽谷科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 杨宏;刘文求
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 固晶臂 纵向移动组件 转动组件 驱动 抓取 本实用新型 刚性连接 机械结构 快速稳定 螺丝紧固 完成晶片 纵向运动 联接轴 固晶 晶片 装配 释放
【权利要求书】:

1.一种固晶臂控制机构,其特征在于,包括固晶臂组件、纵向移动组件及转动组件,所述纵向移动组件与固晶臂组件通过螺丝锁紧连接,用于带动固晶臂组件纵向移动;所述纵向移动组件中通过偏心轴与连杆来实现纵向往复移动,所述偏心轴通过两对角轴承固定;所述转动组件与纵向移动组件通过联接轴刚性连接,用于带动固晶臂组件往返旋转运动。

2.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构,其特征在于,所述转动组件包括:旋转驱动源、旋转轴、夹紧轴、固晶臂固定座、联接轴、交叉导轨及旋转感应器片;所述驱动源与旋转轴通过夹紧轴联接;所述旋转轴与固晶臂固定座通过一副交叉导轨联接;固晶臂固定座通过交叉导轨与转轴纵向运动;所述联接轴通过螺丝固定在固晶臂固定座;所述旋转轴外缘固定连接有旋转感应器片,所述转动组件一侧设置有旋转轴光电感应器,所述旋转感应器片的高度与所述旋转轴光电感应器的高度相适配。

3.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构,其特征在于,所述固晶臂组件包括:晶臂座、固晶臂、弹片、压紧块、调节弹簧;所述晶臂座与固晶臂通过弹片连接,弹片一端用压紧块与固晶臂连接,弹片另一端用压紧块与晶臂座联接;所述晶臂座中部设有固晶臂收容槽;所述固晶臂通过弹片与晶臂座联接后,固晶臂末端插入晶臂座收容槽内;所述固晶臂末端设置有臂力调节螺栓,所述晶臂座收容槽内设置有固晶臂水平调节螺丝。

4.根据权利要求1所述的固晶臂控制机构,其特征在于,所述纵向移动组件包括基座、纵向移动驱动源、联轴器、偏心轴、连杆、连杆轴、滑块座、联接板、纵向移动光电感应器片、直线导轨及滑块;所述驱动源与基座螺丝锁紧联接;所述驱动源通过联轴器与偏心轴联接;所述偏心轴通过两组角轴承固定在基座上;所述连杆两端设有两组球轴承,一端与偏心轴联接,另一端与连杆轴联接;所述直线导轨固定在基座上,所述滑块分别与滑块座及直线导轨联接,所述连杆轴及联接板与滑块座联接。

5.根据权利要求4所述的固晶臂控制机构,其特征在于,所述纵向移动组件还包括:纵向移动光电感应器片及光电感应器,所述纵向移动光电感应器片固定在滑块座上,所述光电感应器固定在基座上。

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